СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОКИСИ АЛЮМИНИЯ Советский патент 1972 года по МПК C01F7/34 

Известен способ получения окиси алюминия путем его осаждения из парогазовой фазы галогенида алюминия и кислородсодержащего реагента.

Известный способ не позволяет получать однофазные плотные осадки в виде компактных изделий или покрытий и, кроме того, скорость осаждения окисла низкая (5-6 Л1к/час), что снижает эффективность способа.

С целью устранения указанных недостатков предлагается в качестве кислородсодержащего реагента использовать окисел или оксихлорид металла, и процесс вести при температуре подложки 1400-2000°С. Это позволяет получать плотный прозрачный материал и повысить скорость роста окисного слоя до 0,3- 0,5 мм1час.

Пример 1. Окись алюминия получают в аппарате, содержащем цилиндрическую реакционную камеру с приспособлением для крепления образца и испаритель для хлорида алюминия.

В качестве образцов применяют молибденовую проволоку диаметром 1 мм, капилляры диаметром 2 мм и фольгу 100X8X0,3 мм. Образцы нагревают прямым пропусканием тока. В испаритель загружают 80 г хлорида алюминия. У торца образца устанавливают тигель с 50 г трехокиси молибдена.

ливают его постоянный расход (100 л/час) и нагревают образец до 1700°С, испаритель до 200°С, тигель с трехокисью малибдена до 1100°С. Процесс ведут в течение 1 час.

Полученные осадки представляют плотный прозрачный материал без отслоений от подложки. Скорость роста окисного слоя на молибденовой проволоке 0,3 мм/час. По данным рентгеновского анализа осадок

представляет собой окись алюминия гексагональной модификации (а-АЬОз).

Пример 2. Окись алюминия получают в аппарате, содержащем цилиндрическую реакционную камеру и два испарителя. В качестее подложки используют те же образцы, что в примере 1.

В один испаритель загружают 80 г хлорида алюминия в другой - смесь хлорида молибдена MoClo и трехокиси молибдена МоОз, по

80 г каждого компонента.

После продувки аппарата образец нагревают до температуры 1850°С, хлорид алюминия - до 200°С, смесь хлорида и окисла молибдена - до 200°С.

В результате нагрева смеси образовывается легколетучий оксихлорид молибдена, который вместе с хлоридом алюминия транспортируют потоком аргона (100 л/час) к нагретой подложке. Время проведения процесса 1 час. 3 Согласно металлографическому и рентгеновскому анализу полученный материал представляет собой комнактные осадки с высокой адгезией к подложке. Предмет изобретения Способ получения окиси алюминия путем его осаждения из парогазовой фазы галогени4да алюминия и кислородсодержащего реагента, отличающийся тем, что, -с целью интенсификации процесса и повышения качества продукта, в качестве кислородсодержащего ре5агента используют окисел или оксихлорид металла и процесс ведут при температуре подложки 1400--2000°С.