ИСПАРИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙВ ВАКУУМЕ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/26 

Изобретение относится к области нанесения нокрытий ,в вакууме.

Известен испарительный элемент для нанесения покрытий в вакууме из цветных металлов, выполненный из графита и карбида тугоплавкого металла.

Однако, известный испарительный элемент не обеспечивает длительного испарения химически активных веществ, что снижает его эксплуатационную стойкость.

Цель данного изобретения - создание испарительного элемента, обладающего высокой эксплуатационной стойкостью.

Предлагаемое устройство отличается тем, что материал содержит 20-BO /o карбида тугоплавкого металла.

На чертеже представлен предлагаемый испарительный элемент.

Он состоит из контактной площадки / и рабочей зоны 2. Испарительный элемент стоек к воздействию высокой темнературы, тепловым ударам, обладает устойчивостью против эрозий, коррозии и термической усталости при температуре до 2000°С. Эти свойства обеспечивают длительную работу в условиях контакта с расплавом химически актизного вещества и испарения IB вакууме при высокой температуре.

Лабораторное и промышленное испытания показали, что испарительный элемент из композиции карбид циркония-графит, в состав которого входит 30°/о карбидной фазы, нагреваемой путем пропускания электрического тока, обеспечивает непрерывное испарение алюминия со скоростью 1,5-2,0 в течение

8

10 час без заметного изменения параметров режима рлботы и качества покрытия, что превыщает срок службы выпускаемых в настоящее время испарительных элементов более чем в 3 раза.

Предмет изобретения

Испарительный элемент для нанесения покрытий из цветных металлов в вакууме, выполненный из материала, содержащего графит и карбид тугоплавкого металл.а, отличающийся тем, что, с целью увеличения эксплуатационной стойкости материала, его компоненты взяты в следующих соотнощениях, вес. %карбид тугоплавкого металла 20-80, графит остальное.

/,