МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИСПАРИТЕЛЬНЫХ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВВПТБФОНД зкенЕРюгч Советский патент 1974 года по МПК C23C14/06 C04B35/58 

1

Изобретение относится к нанесени 0 покрытий, в частности к аппаратуре для нанесения покрытий методом вакуумного испарения.

Известны материалы для испарительных металлокерамических элементов, выполненные на основе диборида титана (93- 95вес.%) с добавками молибдена.

Однако стойкость таких элементов в режиме испарения очень низка.

С целью повышения стойкости металлокерамических элементов и увеличения срока их службы в материал на основе диборида титана вводят карбид титана в количестве 20- 30 вес. %.

Это позволяет существенно повысить стойкость испарительных металлокерамических элементов.

Наиболее эффективным способом изготовления испарительных элементов является спрессовывание жидкостью высокого давления (50-5000 кг/см2).

Предлагаемый материал электропроводен, инертен но отношению к расплавленным ме9

таллам, в частности к алюминию, при температурах их испарения.

Металлокерампческие элементы приготавливают в следуюш,ей последовательности.

В смесь порошков исходных элементов (TiC и TiB2) вводят пластификатор (например раствор синтетического каучука в бензине), после чего смесь засыпают в пресс-формы и подвергают гидростатическому прессованию.

Полученную заготовку спекают в заш,итной среде водорода в засыпке из графитовой крупки при 2200°С в течение 1 час.

Срок службы испарительных элементов, выполненных по такой технологии, в пять раз

превышает срок службы известных элемептов.

Предмет изобретения

Материал для испарительных металлокерамических эле.ментов вакуумных металлизационных установок па основе диборида титана, отл и ч а ю aui йс я тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения стойкости элементов, в него дополнительно вводится карбид титана в количестве 20-30 вес.%.