ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛА, РЕАГИРУЮЩЕГО С ВОЛЬФРАМОМ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/26 

Изобретение относится к области занесения покрытий в вакууме.

Известен испаритель металла, реагирующего с вольфрамом, содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель с испаряемым веществом. Однако в этом испарителе затруднена очистка его и зарядка испаряемым металлолг.

Цель изобретения - создание испарителя, в котором нагреватель из вольфрама был бы отделен от испаряемого металла. Это достигается тем, что нагреватель выполнен в виде плоской спирали и помещен внутри тигля, выполненного в виде колпачка из керамики, на наружной поверхности дна которого расположен испаряемый металл, а на внутренней - нанесено покрытие из вольфрама.

На чертеже представлен испаритель, общий вид.

Испаритель состоит из нагревателя У В виде плоской спирали, и помещенного внутри тигля 2, выполненного в виде колпачка из керамики, па наружной поверхности дна которого расположен испаряемый металл, а на внутренней - нанесено покрытие из вольфрама.

На спираль -надет тонкостенный колпачок из нитрида бора, на дно которого сверху -кладется заряд алюминия в виде фольги или пластинки. Такая форма заряда благоприятствует быстрой теплопередаче от раскаленного нагревателя через тонкостенный колпачок к испаряемому металлу.

Плавление и испарение протекает быстро, причем металл испаряется в широком телесном угле, что благоприятствует получению слоя равномерной толщины на больших поверхностях. Вольфрам полностью отделен от алюм.иния, благодаря чему нагреватель служит долго. Так как нагреватель находится внутри испарителя, то при монтаже нового испарителя не имеет места перенос случайных загрязнений с -нагревателя иа поверхности оптических деталей, благодаря чему уже первая партия деталей получается с нормальным сцеплением слоя металла с подложкой, не нарушаемым при механических воздействиях на слой.

Укладка нового заряда алюминия на испаритель не составляет труда. Конструкция испарителя не исключает возможности подзаряда его алюминием известными способами без нарушения вакуума. Колпачок, служащий испарителем, теплоизолирует помещенный внутри него нагреватель. Для еще лучшей теплоизоляции можно цилиндрическую поверхность колпачка окружить металлическим экраном из любого тугоплавкого металла, а под колпачком поставить зеркало, например алюмннированное стекло, отражающее радиацию внутрь колпачка.

3 Пред м е т изобретения

Р1спаритель металла, реагирующего с вольфрамом, содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель, отличающийся тем, что, с целью отделения нагревателя от вольфрама от испаряемого металла и удобства зарядки, испаряется испаряемым металлом, нагреватель выполнен в виде плоской сппрали и помещен внутри тигля, на наружной поверхности дна которого нанесено покрытие из вольфрама.