УСТРОЙСТВО для ПОДАЧИ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/26 

1

Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано, например, для разработок или изготовления тонкопленочных схем микроэлектроники.

Известные устройства для подачи порошковых материалов в испаритель, содержаш,ие вращающийся подложкодержатель в виде диска, и состоящие из бункера, дозатора и механизма встряхиаапия бункера, имеют сложную конструкцию.

В иредлагаемом устройстве упрощение конструкции достигается тем, что бункер закреплен на планке, подвещенной на плоских пружинах, на конце которой закреплен ролик, взаимодействующий с выемками, выполненными по периферии диска иодложкодержателя.

На фиг. 1 представлена конструктивная схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 показано предлагаемое устройство, расположенное в камере напылительной установки колпакового типа.

Бункер I, в котором находится запас иорошкообразного материала, закреплен на планке 2, упруго подвешенной при помощи плоских пружин 3 и 4 к основанию 5, на котором закреплен кронштейн 6, несущий перемешивающий элемент 7, находящийся в бункере 1, и лоток 8. Перемещивающий элемент 7 может представлять собой цилиндрическую пружину,

нижний конеп которой свободен. По эксплуатации бункер / И кронщтейн 6 с элементом 7 могут быть смонтированы также и в обратном порядке, т.е. бункер / может быть закреплен на основании 5, а кронщтейн 6 с элементом 7 - на планке 2.

В части бункера 7 над лотком 8 выполнено одно или несколько отверстий. Эти отверстия имеют такие размеры, что при непoдвижнo i состоянии материала он в эти отверстия iie высыпается. Основание 5 снабжено планкой 5 для крепления квнутрикамерным элементам 10 вакуумной установки // и поворотным рычагом 11, поводок 13 которого связан тягой (на фиг 1, 2 не показана) с приводом управления заслонкой 14, расположенной над испарителем 15. На планке 2 имеется ролик 16, который в нейтральном полол ении рычага /2 прижат пружинами 3 и 4 к периферии диска - держателя /7 подложек, снабженного зубцами /8.

При повороте рычага 12 по стрелке А ролик /5 может быть вы.веден из контакта с зубцами 18. Вся конструкция описываемого устройства закреплена в камере/9 вакуумной установки // под держателем 17 над заслонкой 14. Поводок 13 соединен с приводом управления заслонкой 14 таким образом, что положение заслонки 14, при котором она закрывает испаритель 15, соответствует отсутст