СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ХРОМА I Советский патент 1973 года по МПК C23F1/26 H05K3/06 

1

Изобретение относится к технологни производства приборов электропйой техники, в частности к изготовлению интегральных и пленочных микросхем, а также хромовых предизиоиных фотошаблонов, применяемых в производстве изделий микроэлектроиики.

Известные способы избирательного травления пленОК хрома, нанесенных «а неметаллическую подложку - стекло, ситалл, кварц - основаны на использовании солянок; слых растворов с а.ктивацией, например контактированием поверхности хрома с металлОМ (цинком, аллюминнем и др.) В виде стержня или стружки.

iB известном способе имеет место критичность ко времени травления, что усложняет управление процессом, а также затрудняет объективный контроль, фиксирование момента окончанИЯ травления и достижение требуемых размеров.

Предлагаемый способ позволяет механизировать процесс травления и повысить выход годных изделий, что достигается использованием в качестве акти ватора процесса травления 1 - 10%-ного водного раствора боргидрида щелочного одновалентного металла.

Активирование поверхности пленок хрома и их последующее травление осуществляют следующим образом.

Пластины с хромовыми пленками, на которые нанесен защитный фоторезистивный рлсунок, нолуче1П ый с применением негативного или позитивного фоторезиста, обрабатывают в объеме или распылением форсункой раствором следующего состава: боргидрида щелочного одновалентного металла - 10- 100 г; воды - до 1 л. Приготовленный раствор перед употреблением необходи.мо в течение не менее 20 мин выдержать в герметичной таре, защищенной от действия света. Заготовки активируют в течение 0,5-3,0 лтн, после чего их обрабатывают травителем на основе соляной кислоты в объеме или в дисперсной среде до полного стравливаатня хрома с незащищенных фоторезистом участков. При травлс ии пленок хрома в объеме газовые пузырьки удаляют встряхиванием пластины. При нснользовании активатора-водиого раствора боргидридо-з щелочных металлов и травителя на основе соляной кислоты обработкой в дисперсной среде с помощью форсунок происходит равномерное травление по всей поверхности, исключается образование подтрава и отпадает необходимость удалять пузырьки воздуха, что обязательно при травлении в объеме.

Пример 1. Боргидрида натрия (NaBH.i) - 2 г; воды-100 мл; время активировання-

2 мин. Пр.ьмер 2. Боргидрдда натрия (NaBH4) - 4 г; воды-100 мл; время активирования- 1 мин. Пример 3. Боргидрида натрия (NaBH4) - 8 г; воды-100 мл; время активирования - 30 сек. Пример 4. Бор гидрида калия (КВН4) - 3 г; воды - 100 л/л; время акт1ИВирО:Вания- 1 мин. Пример 5. Борпидрида калия (КВН4) - 6 г; воды-100 мл; время активирования - 30 сек. Интервалы количества бор:пидр.идов щелочных металлов обусловлены следующим. При содержании в растворе боргидридов менее 1 г на 100 мл воды раствор быстро выр.абатывается. Содержание боргидридов более 10 г на 100 мл воды нецелесоо|бразно из-за увеличения расхода соли при том же времени активирования. В качестве травителей используются травители на основе соляиой кислоты, лтапример: кислота соляная, d-1,13 при активировании в растворе, указанном в примере 1, время травления пленки хрома толщшшй 0,12 мкм - 7 мин; кислота соляная, d-1,18 при активировании в растворах, указаягных в примерах 1, 2, 4, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 2 мин; кислота соляная, d-1,18 мл; 5%-вый pacTB-qp ОП-7 (ОП-10) в воде- 2 ли: при активировании в растворах, указанных в примерах 2, 3 и 5, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 2- 2,5 мин; кислота соляная, d-1,18 гсм - 100 мл; 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгемоилового эфира сульфоянтарной кислоты: при активировании в растворах, указанных в примерах 2, 3 и 5, время травления пленки толщиной 0,12 мкм -2-2,5 мин; кислота соляная, of--1,18 г/см - 100 мл; 50%-ный раствор полиамфолита в воде - 2 мл: при толщине пленки хрома 0,3 мкм время тра вления - 3-4 мин. Предмет изобретения Способ травления хрома, например, при изготовлении пленочных микросхем в солянокислом растворе с использованием активатора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности механизации процесса травления и повыщения выхода годных изделий, в качестве активатора используют 1 - 10%-ный водный раствор боргидрида пхелОчного одновалентного металла.