РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА Советский патент 1973 года по МПК H01L21/465 

Предлагаемый раствор относится к веществам, используемым при изготовлении, например, хромовых прецизионных фотошаблонов.

Для изготовления Х1ромовых шаблонов ИЗ пленки вакуумнапылениого хрома на диэлектрической подложке, например стекле, используют раствор соляной кислоты, который тра,вит )поверх«ость хрома после ее пред1варител1 ного контакта (активации) -со стержнем из цинка или с алюминиевой стружкой.

ИЗВестны также растворы для избирательного травления пленок хрома на основе соляной кислоты, содержащие -различные доба/вки, например, увеличивающие воспроизводимость процесса.

Однако извест1ные расиворы не могут быть (Использованы без предварительного активирования поверхности хрома путем контактироваПИЯ ее с активирующим металлом.

Цель изобретения - повышение равнол1ерно-сти травления.

Для достижения этой цели раствор содержиг восстановитель, например двухлористое олово и ионы йода, например, в виде йодидщелочного одновалентного металла. Компоненты раствора взяты в следующем количестве:

Соляная кислота (плотность 1,18-1,19 г/см Двухлористое олово, г Йодид кал.ия, г

Травитель готовят следующим образом. В концентрированной соляной кислоте растворяют 50-150 г йодида щелочного металла (например, калия), выдерживают не менее суток и фильтруют. В раствор добавляют 10-150 г хлористого олова ii фильтруют.

Порядок операц 1Й технологического процесса при получении микрорельефа хромовых пленок на стекле следующий:

Нанесение фоторезиста с образованием копировального слоя, сушка копировального ,слоя, экспонирование копировального слот, проявление, термическая обработка защитного рисунка, химическое травление незащищенных участков хромовой пленки, Промывка и сушка, удаление фоторезистора.

Пласти;:у с хромовой пленкой, на которую нянасен защитный рисунок, погрул ают в раствор для травления и выдерживают в нем до полного стравлива:ния хромовой пленки с незащищенных фоторезистОМ участков.

В качестве фоторезиста 1используют ФП-ЗЗЗВ.

Ниже даны составы растворов для тра)вления хромовой пленки: Л°9 1 Кисло га соляная 36-40%, мл 1000 йодистый натр;ий, г100 Двухлористое олово, г40 Время полного стра-вливания хромовой плен ки толщиной 0,12 мкм составляет 1 мин 20 сек толщиной 0,3 мкм - 4 мин 20 сек. N 2 Кислота соляная (36-40%), мл 1000 Йодистый калий, г100 Двухлористое олово, г30 Бремя полного стравл«ваиия хромовой пленки толщиной 0,12 мкм составляет 2 мин 20 сек, толщиной 0.30 мкм - 4 мин 50 сек. № 3 Кислота соляная (36-40%), мл 1000 Йодистый .аммог.ий, г100 Двухлористое олово, г100 Время полного стравл1Ичза Н|Ня хромовой пленки толщннсй 0,12 составляет 6 мин 55 сек, толщиной 0,30 мкм- 12 мин 40 сек. № 4 Кислота соляная 36-40%, мл 1000 Йодистый калий, г100 Двухлорнстое олово, г.50 Время ПОЛНОГО стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мкм - 1 мин 35 сек, толщиной 0,30 мкм - 3 мин 40 сек. № 5 Кислота соляная 36-40, мл 1000 Насыщенный ipacTBop йода металлического в слирте, мл 100 Двухлористое олово, г50 Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мкм - I мин 25 сек; толщиной 0,30 мкм - 2 мин 50 сек. При содержании йо-дида менее 100 г/л ок .,рость травле-нйя не уменьшается, но создается п р е с ы щен и е .р а с тв о р а. При содержании хлористого олова менее 10 г/л, также как и выше 100 г/л, скорость травления уменьшается. Наибольшая скорость травления хрома Обеспечивается трашггслсм, содержащим 50 г/л двухлористого олова. Раствор N° 5 годен к работе почти сразу же после приготовления, однако он быстро теряет свои травящие свойства. Предмет изобретения 1.Раствор для избирательного травленияпленок хрома на основе соляной кислоты, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности травления, он содержит восстановитель, .например Двухлористое олово, и ионы йода, иаюример, в виде йодида щелочного металла. 2.Раствор по п. 1, отличающийся тем, чта омпоненты взяты в следующем количестве: оляная -кислота (плотность 1,18-1,19 г/см) 1000 мл, Двухлористое олово 10-15Q г, йодлд калия 50-150 г.