ВИБЛИО:>&?Н/-. Советский патент 1973 года по МПК H01L21/306 

1

Изобретение касается полупроводниковой электроники и может быть «сиользовано для травлеиня р-п переходов кремниевых - полупроводниковых .структур.

Известны кислотные правители «а основе смесей плавиковой и азотной кислоты.

Известен также травитель, в котором вместо азотной кислоты в качестве окислителя введен перманганат калия - КМпО.

Одиако такие травнтелн малопригодны при травлении ;конструкции, содержащей различные металлические элеме1 ты (контакты, припой, компенсаторы, кристаллодержатели и т. д.), так как в этом случае растворяются преимущественно 1металлы. При применении подобных травителей необходима защита металлических частей конструкции от разрушения, что 3(начительно усложняет технологический процесс.

Цель изобретения - осуществление правления без защиты металлических элементов конструкции.

Для этого в состав предложенного травителя, содержащего плавиковую кислоту, введены серная кислота и бихромат калия. Компоненты травителя взяты в следующем соотнощеииИ, вес. %:

Плавиковая кислота14-25,2

Серная кислота3,6-18

Бих1ромат «алия0,034-0,17

Оптимальный состав травителя имеет следЗющие концентрации, в г-экв/л:

Плавиковая кислота21

Серная кислота.. 9

Бихромат калия0,136

Предложенный травитель опробован для травления поверхности фаски тиристоров, содержащих никелевые или алюминиевые контакты, вольфрамовые или молибденовые компенсаторы.

15

Предмет изобретения

Травитель для кремниевых полупроводняковых структур с металлическими элементами, содержащий плавиковую етгслоту и бихромат щелочного металла, отличающийся тем, что, с целью осуществления травления без защиты металлических элементов конструкции, он содержит серную кислоту, в качестве бихромата щелочного металла применен бихромат калия, а компоненты взяты в следующем соотнощении, вес. %:

Плавиковая кислота37,2-35,6

Серная кислота62,6-62,9

Бихромат калия0,2-1,5