СОЮЗНАЯ Советский патент 1973 года по МПК G02B5/28 

1

Известны способы контроля толщины слоев при изготовлении оптического покрытия, заключающиеся в определении пропускания подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями.

По предложенному способу в процессе нанесения предпоследнего слоя фиксируют при заданной длине волны максимальное фмакс. и минимальное фмин. значения величины, пропорциональной пропусканию системы: покрытие - наносимый слой, и по полученному отношению фмаксУфмип. ВЫЧИСЛЯЮТ фо, ПрИ ДОстижении которого заканчивают напыление предпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропускания.

Такой контроль позволяет получить интерфереициоиное покрытие с коэффициентом пропускания, близким к 100% для заданной длины волны.

Контроль осуществляют в процессе паиесепия слоев на подложку путем термического испарения веществ в глубоком вакууме. С помощью фотометрического устройства определяют пропускание в монохроматическом свете подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями. О толщине слоя судят по известной зависимости коэффициента пропускания от оптической толщины.

После того как нанесены все слои, кроме

двух последних, и спектральные характеристики покрытия в зоне низкого пропускания оказываются сформированными, фотометрическое устройство настраивают на заданную длину

волны Ко и напыляют предпоследний слой. В процессе осаждения слоя фиксируют максимальное фмакс. и минимальиое фмин. значения величины, получаемой на отсчетпом устройстве фотометрического устройства. Эта величина пропорциональна коэффициенту пропускания Т (Ко). Зная отнощение рмакс./фм1га., вычисляют, при каком показании фо отсчетного устройства следует прекратить напыление предпоследнего слоя, чтобы вносимая им разиость фаз между интерферирующими лучами, отражающимися от его границ, была кратна 2я. Такому условию соответствует равенство

Д,+А, + -: 2/С::, 0, 1,2..., (1)

где А и Д9 - сдвиги фазы электрического вектора при отражении от границ предпоследнего слоя луча, иду25щего из слоя;

п - показатель преломления слоя; du-толщина готового слоя; К - порядок интерференции. В формуле (1) величина Дз иредставляет 30 собой сдвиг фаз при отражении от уже готового последнего слоя. Этот слой осаждают до достижения максимального пропускания при заданной длине волны. Величину фо вычисляют по формуле (1 - рг) 1 + - 2рг cos АЗ где риг - амплитудные коэффициенты отражения для лучей, падающих из предпоследнего слоя на границы с интерференционной системой, состоящей из подложки с нанесенными на нее слоями, предществующими предпоследнему (р), и с вакуумом камеры, в которой происходит напыление (г), г Величину Д2 определяют, зная коэффициент, р / (/макс..) отражения и показатели преломления веществ, образующих последний и предпоследний слои. 5 10 15 20 Предмет изобретения Способ контроля толщины слоев при изготовлении оптического покрытия, например, спектроделителя, заключающийся в определении пропускания подложки с наносимыми .на нее интерференционными слоями, отличающийся тем, что, с целью получения коэффициента пропускания, близкого к 100% для заданной длины волны, фиксируют при этой длине волны в процессе нанесения предпоследнего слоя максимальное фмакс. и минимальное фмии. значения величины, пропорциональной пропусканию системы покрытие - ианосимый слой, и по полученному отнощению ФмаксУфыин. вычисляют значение фо, при достижении которого заканчивают напыление предпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропускания.