Способ изготовления оптического покрытия Советский патент 1975 года по МПК G02B5/28 

Аф фмакс - фмин зависит от показателей преломления Пв и «н ошибок в толщинах слоев и от чувствительности и темпового тока фотометра, с помощью которого ведется контроль. Функциональная связь между этими величинами довольно громоздка. Можно показать, что для покрытий, содержащих более 6-7 слоев, зависимость значительно упрощается. (Обычные интерференционные спектроделители имеют не менее 11 -15 слоев).

Зная разность Аф, можно вычислить вызванное ростом последнего слоя изменение отсчета фАо, при котором следует закончить напыление этого слоя, чтобы получить требуемую его толщину.

Величину фАо вычисляют по следующим выражениям:

- (4-1)(1 -COSctK)

Дер

(«в - I) («„ - I) (I - COS ат.) 2«2

- ДЛЯ последнего слоя с низким показателем преломления;

Л („2 )( cos ал)

Афо :

АФ

(Л l-l)(nl-l)()+2

- ДЛЯ последнего слоя с высоким показателем преломления.

где а - величина, показывающая, во сколько раз оптическая толщина последнего слоя от5 личается от четверти длины волны света, при которой производится контроль.

Предмет изобретения

Способ изготовления оптического покрытия,

0 например, спектроделителя, заключающийся в последовательном нанесении на подложку чередующихся СЛоев с больщим и меньшим показателями преломления с одновременным контролем при фиксированной длине волны

5 пропускания отодложки с системой слоев, включающей наносимый, я регистрации экстремальных значений величины отсчета, пропорциональной пропусканию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения отклонения Спект0 ральных характеристик от заданных, при напылении предпоследнего слоя фиксируют экстре1мальные значения отсчета, а напыление последнего слоя прекращают при достижении величиной, пропорциональной пропусканию,

5 расчетного значения, функционально связанного с фиксированными отсчетами.