АНТИДИНАТРОННОЕ ПОКРЫТИЕ Советский патент 1973 года по МПК H01J5/08 

Изобретение относится к мощным электровакуумным приборам, в частности к приборам СВЧ. В этих приборах для окон выводов энергии и высоковольтных изоляторов применяются алюмооксидные керамические материалы, имеющие высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии (квээ). Вторичный электронный резонанс, являющийся следствием высокого квээ диэлектрика,- одна из причин разрушения диэлектрика вывода энергии при высоких уровнях пропускаемой через него импульсной мощности. Для любой конструкции окна лучшие результаты могут быть получены путем использования диэлектрика с низким квээ. В высоковольтных изоляторах электронных приборов в результате местного лавинного нарастания интенсивности бомбардировки за счет вторичных электронов также может происходить разогрев керамики и разрушение ее. И в этом случае использование диэлектрика с более низким квээ позволит предотвратить его разрушение. Известны способы подавления вторичного электронного резонанса, например способ снижения квээ с поверхности путем нанесения на диэлектрик металлов с более низким, чем у подложки, квээ. Однако наносимые покрытия недостаточно стойки к многократным прогревам в газовых средах и в вакууме, не обеспечивают стабильности свойств узла в течение длительного вре мени работы прибора, слабо связаны с подложкой и, кроме того, испаряются при нагреве и распыляются при бомбардировке электронами. Предлагается в качестве покрытия диэлектрика в окнах выводов энергии мощных ЭВП и высоковольтных изоляторов использовать проводящую, например, титаносодержащую глазурь с пониженным квээ, наносимую на поверхность диэлектрика любым известньш способом (пульверизацией, окунанием, намазыванием и др.) и подвергаемую термообработке в восстановительной среде. Покрытие с низким поверхностным сопротивлением, как известно, также дает возмол ность за счет малых электричес({их утечек избежать накопления положительных зарядов на поверхности изолятора и тем самым уменьшить интенсивность электронной бомбардировки и способствует более равномерному распределению электрического поля по диэлектрику. Пример. На внутреннюю вакуумную поверхность окна вывода энергии, изготовленного на алюмооксидной керамике типа А-995 (содержание АЬОз-99,5%), была нанесена методом окунания алюмосиликатная бесщелочная титаносодержащая глазурь и затем 3 оплавлена в восстановительной среде. Получено плотное покрытие, прочно связанное с подложкой, стабильное в различных защитных газовых и в вакууме при нагреве до 1000-1200°С. На динамических испытаниях прибора температура керамического окна вывода энергии при прохождении через него мощности 15 кет снизилась более чем на 200°С по сравнению с неглазурованной керамикой. 4 Предмет изобретения Антидинатронное покрытие для керамических деталей электронных приборов, преимущественно приборов СВЧ, на основе титана, отличающееся тем, что, с целью повышения термостойкости и прочности сцепления с деталью, покрытие выполнено из титаносодержащей глазури.