:5СеСОЮЭ'-;АЯ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов.

Известно устройство для нанесения фоторезиста на подложку, содержащее центрифугу, дозатор с Поршнем и систему форсированиого разгона центрифуги.

Однако, при использовании известных устройств оветочувствительный материал на подложку перед центрифугированием наносят вручную. Поэтому доза материала и его консистенция каждый раз разная, так как различно Время между нанесением дозы и началом цент:рифугирования, и, следовательно, светочувствительный материал имеет различную 1ВЯЗКОСТЬ.

Это снижает качество изготавливаемых приборов.

Для улучшения качества нокрытия за счет синхронизации выдачи дозы фоторезиста с включением центрифуги, а также устранения зависания капли фоторезиста в предлагаемом устройстве поршень дозатора фоторезиста закреплен на зубчатой рейке, овязаниой с двумя храповыми механизмами, причем собачка первого механизма закреплена на рычаге, второе плечо которого является включателем системы форсированного разгона центрифуги, а собачка второго xpanoiBoro механизма обеспечивает рейке Возвратное движение.

На чертеже показано описываемое устройство, которое включает в себя эл€КТ1родвигатель 1, центрифугу 2 с быстросъемными столиками 3 для укладки на них подложек 4

и дозатор 5 реечно-поршневого типа. В корпус дозатора вмонтирован поршень 6, жестко свя- занный с рейкой 7, шаговое перемеш,ен«е которых осушествляется посредством собачки 8. находящейся на рычаге 9 и прижимаемой к

рейке 7 пружиной 10. Для возврата рычага . iB исходное Положение предусмотрена пластинчатая пружина //, а для устранения зависания капли фоторезиста - собачка 12 с пружиной 13, которая поднимает рейку с порШнем до заклинивания зуба собачки между зубьев рей«и. Фоторезнстявный материал находится в емкости 14. В рычаге 9 установлен ВИНТ 15 для изменения дозы фоторезиста. Центрифуга 2 приводится в действие от

электродвигателя 1, который запускается посредством устройства 16 форсированного режима работы через микропереключатель 17. Устройство работает следующим образом. Собачка 12 отжимается и поднимает поршень

6, благодаря чему материал засасывается в емкость 14. После этого на столик 3 укладывают подложку 4, а собач.ку 8 посредством винта 15 устанавливают в -положение, необходимое для выдачи определенной дозы материала. При нажатии на рычаг 9 собачка 8

3

перемещает рейку 7 на один ил;и несколько зубьев, определяющих выдачу дозы фоторезиста перемещением поршня 6 вниз.

При этом рычаг 9 нажимает также и на микропереключатель 17 и последний через устройство 16 включает электродвигатель, приводя IB действие центрифугу 2.

Период времени между выдачей дозы материала на подложку и включением в действие цент|рифуги составляет доли секунды.

Собачка 12 под действием пружины 13 поднимает рейку с поршнем до заклинивания зуба собачки между зубьев рейки, и зависшая капля фоторезиста втягивается благодаря этому внутрь емкости 14.

Далее цикл повторяется и его .идентичность обеспечена синхронностью работы всех м ехаНизмов устройства.

Предм.ет изобретения

Устройство для .нанесения фоторезиста на подложку, содержащее (Центрифугу, дозатор

с поршнем, систему форсированного разгона центрифуги, отличающееся тем, что, с целью улучшения качест1ва покрытия за счет синхронизации выдачи дозы фоторезиста с включением центрифуги, а также устранения зависания капли фоторезиста, поршень дозатора закреплен на зубчатой рейке, связанной с двумя храповыми механизмами, Причем собачка первого механизма закреплена на рычаге, второе плечо которого является включателем системы форсированного разгона центр.ифуги, а собачка второго храпового механизма служит для возвратного движения оейкт-г.