УСТРОЙСТВО для ОХЛАЖДЕНИЯ ГИБКИХ ПОДЛОЖЕК Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 

Изобретение относится к области накесения покрытий 3 вакууме.

Известно устройство для охлаждения гибких подлоукек при металлизации в вакууме. состояи,ее из BpamaiOiUterocH барабана, в полость которого введена ось с каналами подвода и отвода охладителя. Однако в таком устройстве теплоотвод регулируется в узком диапазоне те.мператур перематываемого материала.

Цель изобретения - стабилизация температуры перематываемого материала. Это достига-ется тем, что каналы для подвода и отвода охладителя выполнены в виде трубок с отогнутыми концами, имеющими выход во внутреннюю полость ба.рабана, а ось смонтирована подвижно и снабжена приспособлением для фиксации заданного положе.чия.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - разрез но А-.4 iia фиг. 1; на фиг. 3 - вид по стрелке Б на фит. 1.

Устройство для охлаждения гибких подложек ;В|КЛК чает барабан /, в полость которого введена ось 2 с каналами подвода и отвода охладителя. Каналы вылолнены в виде трубок 3 м 4 с отогнутыми концами, имеюн ими выход во внутреннюю полость барабана, а ось 2 смонтирована подвижно с возможностью поворота на некоторый угол и снабжена прлспосооленпем а для (риксации заданного no.ioж&ния. Барабан У смонтИрэва.н осях 2 и 6, закрепленных в корпусах 7 и S перемоточного устройства вакуумной установки. Ось 2 через корпус 8 и вакуу-мное уплотнение 9 имеет выход в атмосферу, где шестерней W сообщается с приводом.

Каналы связаны с соответствующими щтуцерамя // и J2 подвода и отвода охладителя.

Трубки 5 и 4 отогнуты в 1;ротив0ноложные стороны, причем, трубка 4 длиннее трубки 3 и почти касается стенки барабана. Со стороны атмосферы ось 2 рычагом 13 « зажимом М фиксируется в задагиюм положе}1ии. В лолости барабана 1 охладитель 15 отводит тепло от подложки 16.

Устройство работает следующем образом.

Охлаждающая жидкость через штуцер 11

по трубке с подвода над давлением подается

в барабан /. По мере поступле)ия охладителя в полости барабана / растет давление воздуха, которое, достигая определе 1ного значе|Ниг, охл.аднтель через трубку отвода 4 и штудер 12 обрат)10 в огстему циркулядии, унося с собой тепло от гибкой подложки 16 стенками вращающегося барабана. Регулировка уровня заполнения барабана / охладителем производится .поворотом рычага 13 на соответствующий угол а, тем самым

.изменяя уровень охладителя h на hi. С уве..

личением угла а уровень охладителя повышается, тем самым увеличивается количество тепла, отводимого от подложки.

Предмет и з о i6 р е т е и и я

Устройство для охлаждевия гибких подложек при металлизации в вакууме, состоящее :из вращающегося барабана, в полость которого введена ось с ка-налами подвода и отвода охладителя, отличаюш ееся тем, что, с целью стабилизации температуры перематываемого материала, каналы вьшолнены в виде трубок с отогнутыми концами, имеющими выход во внутреннюю полость барабана, а ось смонтирована подвижно и снабжена приспоС0:блением для фиксации заданного положения.

Pui..2 Фиг Э