Устройство для охлаждения гибких подложек Советский патент 1981 года по МПК C23C13/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ГИБКИХ ПОДЛОЖЕК

I

Изобретение относится к металлургии, в частности к устройствам дли , охлаждения гибких подложек, используемых для нанесения металлических покрытий методом испарения и конден-сации металла в вакууме.. ;

Известно устройство для охлаждения подложек, металлизируемых в. вакууме, состоящее из подложкодержателя с прижимной рамкой и свободно установленной поверх подложки термостабилизируклдей плиты, которыми расположена теплопроводящая жидкость в виде слоя жидкости металла с низким давлением паров компонентов 0.

Недостаток устройства заключается в том, что оно предназначено для неподвижных подложек и не может быть использовано в непрерывном процессе для металлизации гибких подложек в рулонах.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является

устройство для охлаждения гибких подложек при металлизации в вакууме,, состоящее из вращающегося полого барабана, внутрь которого введена ось с каналами подвода и отвода охладителя в виде трубок с отогнутыми концами, имеющими выход внутрь барабана 2.

Однако известное устройство имеет низкую эффективную термостабили-.,

10 зацйю гибкой подножки ввиду недостаточного контакта мевду ней и поверхностью охлаядакйцего барабана, в результате чего металлического покрытия ограничивается 2-3 мкм

15 из-за перегрева и оплавления гибкой подложки.. ...

Цель изобретения - повышение эффективности охлаяяения гибких подложек ,

20

Поставленная цель достигается тем, что устройство для охлаждения гиб|ких подложек, преимущественно при iосаждении паров металла в вакууме. содержащем барабан с трубопроводом для подвода охладителя в его полость и отвода охладителя из полости и механизм .вращения барабана, барабан выполнен с выступами по краям его цилиндрической поверхности и снабжен механизмом прижима к выступам барабана гибкой подложки, образующей совместно с цилиндрической поверхностью барабана полость для теплопро водящей жвдкости, а н,гщ барабаном установлен резервуар для подачи теплопроводящей жидкости в полость, образованную гибкой подложкой и цилиндрической поверхностью барабана с вы ступами. Кроме того, механизм прижима выполнен в виде установленных по краям барабана двух бесконечных лент, снаб женных сепаратором, двумя транспортными роликами, прижимными роликами на пружинной подвеске с механизмом регулировки усилия натяжения ленты и системами охлаждения и механической очистки бесконечных лент от металлического конденсата. На фиг. I схематично изображено предлагаемое устройство, на фиг, 2 разрез А-А на фиг, 1, на фиг. 3 механизм прижима гибкой подложки. Устройство содержит тигель 1, механизм 2 прижима гибкой подложки, размоточный гаспель 3, направляющий ролик 4, барабан 5, в полость которого введена ось 6 с каналами подвода и отвода охладителя 7, выполненны в виде трубок с отогнутыми концами 8 и 9, резервуар 10 с теплопроводящей жидкостью 11, обеспечиваннций ком пенсацию потерь жидкости в процессе работы, направляющий ролик 12, приемный гаспель 13 и гибкая подложка 1 Механизм 2 содержит две бесконечные ленты 15, установленные по краям барабана 5, сепаратор 16, два транспортных ролика I7, два прижимных рол ка 18 на пружинной подвеске 19, системы 20 охлаждения и механической очистки ленты 21, Устройство работает следующим образом. Гибкая подложка 14 транспортируется с размоточного гаспеля 3 на при емный гаспель 13 через направлянвдие ролики 4, 12 и барабан 5, который мо жет нагреваться до любой необходимой температуры. Проходя над тиглем I, гибкая подложка образует вместе с выступами барабана полость, заполн 4 емую теплопроводящей жидкостью 11 (подается из резервуара 10) которая осуществляет эффективную теплопередачу от подложки к барабану и обеспечивает охлаждение подложки, защищая ее от оплавления. Необходимую герметичность полости обеспечивает прижимной механизм 2 гибкой подложки. Механизм 2 работает следующим образом. Бесконечная лента 15 приводится, во вращение от барабана 5, Сепаратор 16 предотвращает трение внутренней поверхности ленты, которая в своем движении проходит через транспортные 17 и-прижимные ролики 18, Предусмотренное конструкцией охлаждение и механическая очистка ленты с помощью соответствующих систем 20 и 21 обеспечивают работу прижимного механизма в течение длительного времени, С помощью предлагаемого устройства возможно получить металлические покрытия толщиной 10 мкм с высокой адгезией к гибкой подложке, Фольгированный диэлектрик, полученный с помощью устройства может использоваться для изготовления микроминиатюрных печатных плат. Использование фольгированного полиимида позволит отказаться от дорогостоящих и трудоемких промежуточных операций нанесения адгезионного слоя и приклейки фольги к диэлектрическому основанию. Ожидаемый экономический эффект от использова|1ия фольгированного полиимида, получе.нного с помощью устройства, составит 96,4 тыс, руб, на 1 т фольгированного диэлектрика. Формула изобретения 1, Устройство для охлаждения гибких подложек, преимущественно при осаждении паров металла в вакууме, содержащее барабан с трубопроводом для подвода охладителя в его полость и отвода охладителя из полости и механизм вращения барабана, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности охлаждения подложек, барабан вьтолнен с выступами по краям его цилиндрической поверхности и снабжен механизмом прижима к выступам барабана гибкой подложки о6разуки1|ей совместно с цилиндрической поверхностью барабана полость для теплопроводящей .жидкости, а над барабаном установлен резервуар для подачи теплопроводящей жидкости в полость, образованную гибкой подложкой и ЦИЛИН дрической поверхностью барабана, с выступами, 2. Устройство по п. I, о т л и чающееся тем, что механизм прижима выполнен в внД9 установленных по краям барабана двух бесконеч ных ,. снабженных сепаратором. « двумя транспортными роликами, прижимными роликами на пружинной подвеске с механизмом регулировки усилия натяжения ленты и системами ох-лаждения и механической очистки бесконечных лент от металлического конденсата. Источники инфохшации, принятые во внимание при экспертизе 1.ПТЭ №4, 1976, с. 252. 2.Авторское свидетельство СССР №380750, кл. С 23 С.13/98, 1974. (прототип).