СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/52 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме -и может быть использовано для наблюдения за процессами в вакуумной камере.

Известно CMOTipOBoe окно для вакуумной камеры, содержащее корпус, смотровое стекло, перфО|рированный диск и привод.

Однако смотровое окно имеет короткий промежуток времени незапыляемости смотрового стекла, что ограничивает срок службы смотрового окна в установках длительного действия.

Цель изобретения -увеличение срока службы смотрового окна.

Предлагаемое смотровое окно отличается тем, что оно снабжено конденсатором, выполненным в виде конфузора, и смонтировано на камере посредством шаровой опоры, вписанной в вакуумоплотный корпус.

На чертеже изображена предлагаемая конструкция смотрового окна.

Окно состоит из корпуса /, смотрового стекла 2, перфорированного диска 3, привода 4, конденсатора 5, выполненного в виде конфузора. Оюго смонтировано на камере 6 посредством шаровой onoipbi 7, вписанной в вакуумаплотный корпус 8.

В корпусе / выполнена камера 9 охлаждения, имеющая охладительную «рубашку 10, внутренняя noBespxHOCTb которой выполнена

оребренной. К внешней стороне смотрового стекла 2 может быть присоединено оптическое устройство (на чертеже не показано). Работает вакуумная камера следующим

образам.

Во время испарения материала из нагревательного источника (тигля), часть потока иара, обладая запасом кинетической энергии и прямолинейным движением, направляется в

сторону смотрового окна. Достигнув поверхности конфузара 5, имеющего температуру меньше (Критической температуры конденсации паров испаряемого материала, последние конденсируются на наружной поверхности

конфузора 5. Молекулы пара, попавшие в полость конфузора 5, конденсируются на его внутренней пове|рхности. Часть молекулярного потока, не встретив препятствий «а своем пути, проникает че1рез узкое сечение конфузора 5 в 1камеру охлаждения 9.

Наличие в корпусе / устройства камеры 9 охлаждения позволяет создавать в ней область с низкой темлературой. В этой области мюлекулы испаряемого материала теплоизлучением теряют значительную часть своей энергии и конденсируются на оребренной поверх1ности «рубашки 10. Теплоотвод в охлаждающем приспособлении осуществляется циркулирующим в охладителыной «рубашке 10

хладагентом. Не сконденсировавшаяся часть

молекул пара задерживается вращающимся со акоростью, намного превышающей скорость молекул , перфО;рпрованным диском .Л препятствующим прон 1кнове)ию пара на поверхпость смотрового стекла 2.

В нерабочем положении смотровое окно установлено так, что конфузор 5 отзеден Б сторону от пСПарителя (тигля), препятствуя таким образом прямом попаданию молекул пара в полость смотрового oiKna. В случае необходпмости наблюдения за работой исиарительных устройств, оператор, благодаря наличию щарнириого соединения, ираисением смотрового окна наводит конфузор 5 на объект наблюдения.

Если в вакуумной камере размеи1ены несколько источников испарения (тиглей), а соответствеННО, и механизмов подач: праволоки, то несмотря на постоян ный угол обзора устройства, наличие сферического щарнирного соед Н1ен: я нозволяет оператору вращением устройства относительно двух осей осматривать об1нирную часть камеры с механизмами, смонтированными не только рядом с испарителем, но и в стороне от них.

Предмет изобретения

СмотрОВое окно для вакуумной камеры, содержащее кор.пус, .смотровое стекло, пе рфорнрованный диск н привод, отличающееся itt.i, что, с целью увеличения срока службы, окно снабжено конденсатором, выполненным в виде ;конфузора, и смонтировано на камере посредством щаровой Опо,ры, вписанной в вакуумоплотный корпус.

JO

9