СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТНЫХ ВЫВОДОВ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/306 

1

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов, а именно, к способам получения выводов.

Известен способ получения контактных выводов из .металлической заготовки, включаюШ.ИЙ операции фотолитографической обработки, травления межконтактных перемычек до разделения выводов, формирования выводов и механическую обработку.

Однако известный способ не позволяет фор.мнровать контактные выводы на заготовке с целью придания им необходимой геометрической формы до онерации травления, а при формировании и механической обработке контактных выводов теряется точность их взаимного расположения.

Цель изобретения - повышение точности изготовления контактных выводов.

Цель достигается тем, что после фотолитографической обработки заготовку травят на глубину, меньшую ее толш,ины и равную заданной толшине контактных выводов, формируют выводы, а после механической обработки травят заготовку с противоположной стороны до разделения контактных выводов.

Операции осуществляют в следуюш,ей последовательности.

На плоскую заготовку наносят фоторезист, экспонируют рисунок контактных выводов и производят травление межконтактных перемычек на глубину, меньшую толщины плоской заготовки н равную заданной толшине контактных выводов готового инстру.мента. После травления н снятия зашитного слоя фотореаиста осуществляют формирование выводов, придавая им необходимую геометрическую форму, осуществляют механическую обработку, например полировку поверхности контактных выводов с протравленной стороны, а разделение контактных выводов производят травлением всей поверхности обратной стороны заготовки.

П J-1 е д м е т и з о б р е т е и ь- я

Способ получения контактных выводов из ; 1еталл11ческой заготовкн, включающий операдни фотолитографической обработки, травления межконтактных перемычек до разделения выводов, формирования выводов и механическую обработку, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления контактных выводов, после фотолитографической обработки травят заготовку На глубину, MciibHiyio ее то.:пцнны н равную заданной толщине контактных выводов, формируют выводы, а после механической обработки травят заготовку с противоположной стороны до разделения контактных выводов.