НАГРЕВАТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ ТИПА «ЛОДОЧКА» Советский патент 1973 года по МПК C23C14/26 

1

Изобретение относится к нанесению покрытий .в вакууме.

Известен нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «Лодочка, выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которой имеет углубления.

Предлагаемый элемент отличается от известного тем, что углубления соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками, причем углубления имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.

Это позволяет повысить производительность процесса ,и улучшить условия подвода тепла.

На фиг. 1 изображен предлагаемый элемент, общий вид, фронтальная проекция; на фиг. 2 - вид в плане.

Нагревательный элемент выполнен из листового тугоплавкого металла с токоподводами 1. Рабочая часть элемента имеет углубления 2, соединенные между собой и токоподводами дугообразными перемычками 3. Углубления имеют форму, образованную симметричным Пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.

Нагревательный элемент своими токоподводами ) закрепляют в контактных зажимах испарителя и испаряемый металл в виде гранул

или отдельных кусков помещают в углубления 2. При включении тока этот металл плавится, стягиваясь, поначалу, в сферические капли, которые интенсивно перемещаются по дну углублений. С дальнейщим повышением температуры смачиваемость резко возрастает и капли растекаются по всей поверхности. Вследствие этого сопротивление стенок углублений понижается и это вызывает нераспределение выделяемой в лодочке тепловой мощности такйм образом, что температура основной массы испаряемого металла понижается, а нагрев перемычек резко возрастает. Благодаря наличию таких перемычек тепло, в основном,

путем теплопроводности сообщается испаряемому металлу. При этом основное испарение происходит на границах смоченных зон. Поскольку число таких зон в данной конструкции увеличено, испарение происходит достаточно интенсивно.

Повышенная равномерность испарения достигается тем, что по мере уменьшения количества оставшегося металла температура отдельных частей элемента выравнивается.

Предмет изобретения

Нагревательный элемент для испарения металлов в BaiKyyiMe типа «Лодоч1Ка, выполнениый из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которого имеет

углубления, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения условий подвода тепла, углубления соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками, причем углубления имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.

XZ.

иг. f

Фиг. 2