Испаритель Советский патент 1975 года по МПК C23C13/12 

1

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения качественных пленок сложного физико-механического состава при изготовлении различных микроэлект|ронных устройств при вакуумном напылении материалов.

Известен испаритель типа «лодочка, выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которого имеет секции в виде углублений для испаряемых металлов. Однако из известного испарителя выбрасываются части испаряемого материала при испарении с большими скоростями сублимирующихся веществ.

К|роме того, подобные испарители при получении пленок сплавного характера не обеспечивают их высокого качества в случае испарения нескольких исходных материалов с близкими температурами испарения, загружаемых в соседние секции испарителя, испаряющихся из жидкой фазы, за счет недостаточного перемещения паров.

Цель изобретения - повышение однородности многокомпонентного покрытия путем перемешивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении. Поставленная цель достигается тем, что каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов.

На фиг. 1 и 2 изображен предлагаемый испаритель.

Испаритель I выполнен в виде «лодочки из листового тугоплавкого металла, рабочая часть его имеет секции 2 в виде углублений для испаряемых металлов. Каждая секция 2 снабжена экраном 3, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее кромок.

Экраны 3 выполнены из того же материала, что и испаритель 1 и закреплены на боковых стенках секций 2.

Крепление экранов может быть различным: разъемным для обеспечения загрузки расплавляющихся испаряемых материалов или неразъемным при испарении порошковых сублимирующихся веществ.

Крепление экранов 3 к боковым стенкам секций 2 позволяет применять экраны различной ширины, так как точки подсоединения эквипотенциальны при протекании тока через испаритель.

Ширина ограничительных экранов 3 меньше ширины секций 2 и выбирается в зависимости от цели применения испарителя. Для сублимирующихся веществ экраны выполняют более узкими, так как испарение проис.ходит в основном вдоль ребер сочленения секций 2. В этом случае экраны 3 служат для удержания вещества в секциях испарителя.

Для веществ, испаряющихся из расплава 4, их делают более широки1ми, так как они служат для формирования направления истечения паров из секций 2.

Предмет изобретения Испаритель по авт. св. № 387050, отличающийся тем, что, с целью повыщения однородности многокомпонентного покрытия путем перемещивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении, каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов.

Фиг.2