ВПТБ Советский патент 1973 года по МПК G01L1/22 

1

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в медицинских диагностических приборах.

Известные тензорезистпвные преобразователи, содержащие упругий элемент, состоящий из балки в виде консоли с симметрично расположенными по отношению к ее продольной оси теизочувствительными зонами, не обеспечивают достаточной точности нреобразования и к. н.д. на единицу объема.

Предлагаемое устройство не имеет этих недостатков и отличается от известных тем, Что в нем унругий элемент выполнен в виде многослойной тонконлеиочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующими пленками.

На чертеже изображен предлагаемый тензорезистивный преобразователь.

Упругий элемент преобразователя содержит тонкую изолирующую подложку с наныленнь1ми на ней и последовательно соединенными тензочувствительными слоями /. Последние чередуются с изолирующими пленками 2 и образуют зоны 5 и 4 тензослоев, расположенных по обеим сторонам нзолирующей подложки. Две зоны, от которых отводятся три электрических вывода 5, 6 и 7, образуют электрическую схему нолумоста. Вывод 6 электрически связывает два тензослоя зон 3 и 4,

непосредственно наныленных на подложке с одной и другой стороны.

Под действием силы, приложенной к незакрепленному концу нреобразователя, изгибается упругий элемент. Тензочувствительные слои /, входящие в зону 3 и расположенные на верхней стороне подлол ки, растягиваются, если приложенная сила направлена сверху, и изгибают подложку вниз. Тензочувствительные слои / зоны 4, находящиеся с нижней стороны подложки сжимаются.

Сжатие и растяжение теизослоев приводит к тому, что изменяются их электрические сонротнвлення нод действием комнонентов мехаиической энергии.

Соответственно в одной зоне , например зоне 3, нолучается суммарное уменьшение электрического сопротивления, а в зоне 4 - суммарное увеличение. В результате образуется

электрический сигнал, пропорциональный неремещению и воздействующей силе.

Предмет изобретення

Тензорезистивный преобразователь, содержащий унругий элемент, .состоящий нз балки в виде консоли с симметричио расноложенными по отноше1гию к ее нродольной оси тензочувствительпыми зонами, отличаюи ийся тем,

что, с целью повышения точности иреобразования и к. п. д. на единицу объема, в нем упругий элемент выполнен в виде многослойной тонкопленочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующими пленками.