КАРУСЕЛЬНЫЙ ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ^ И ЗАПАЙКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ Советский патент 1973 года по МПК H01J9/38 H01J9/40 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию электровакуумной промышленности.

Известны откачные полуавтоматы карусельного типа. Их основной недостаток состоит в том, что в систему откачки проникает воздух но притертым поверхностям золотника, через уплотнения штенгелей и уплотнения в подвижной части полуавтомата. Это не позволяет откачивать приборы до высокого разрежения.

В предложенном полуавтомате устранено натекание воздуха из атмосферы благодаря тому, что на неподвижном диске золотника выполнена соединенная с одним из насосов замкнутая канавка, состоящая из чередующихся и радиальных участков и охватывающая только ту часть плоскости неподвижного диска, на которой расположены отверстия для откачки и наполнения изделий. Полости, разделяющие сдвоенные уплотнители откачных гнезд, соединены с упомянутой канавкой каналами в подвижном диске золотника.

На фиг. 1 показан предложенный полуавтомат, разрез по вертикали; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - неподвижный диск золотника, вид сверху; на фиг. 4 - откачное гнездо, разрез по вертикали.

Полуавтомат (фиг. 1, 2) состоит из основаПИЯ }, стационарных вакуумных насосов 2, карусели 3 с откачными гнездами 4, золотника, содержащего подвижный 5 и неподвижный 6 диски, привода 7, электрического коллектора 8, печи 9 для прогрева изделий, системы 10 индукционного нагрева изделий, системы // напуска инертного газа, системы 12 управления и контроля.

В неподвижном диске (на фиг. 3) золотника выполнена замкнутая канавка J3, охватывающая отверстия J4, соединенные с насосами 2, и отверстия 15, соединенные с системой П напуска инертного газа. Вне контурл канавки 13 на диске 6 имеются канал 1 предварительной откачки и участок загрузки и выгрузки изделий. Канавка 13 через канал 17 в диске 6 соединена с вакуумным насосом 18.

Внутри гнезд 4 и подвижного диска 5 предусмотрены каналы 19 откачки изделий. Вакуумные уплотнения 20, 21 состоят каждое из нары уплотнителей 22, 23 и 24, 25. Канавки 26, 27 между уплотнителями соединены каналами 28, имеющими, как и каналы 19, выход на поверхность соприкосновения дисков 5 W. 6.

При работе полуавтомата изделия устанагливают в гнезда 4 через уплотнители 22, 23. При повороте карусели 3 канал 19 откачки изделий и каналы 28 откачки уплотнений откачиваются через канал 16 предварительной откачки. При далънейщем повороте карусели отверстие канала 19 переходит внутрь контура канавки 13, а отверстия каналов 28 соединяются с канавкой 13. При последующих поворотах карусели изделия через отверстия М откачиваются насосами и прогреваются печью 9 и системой индукторо. Затем изделия, предварительно наполненные инертным газом через отверстия 15, тренируются при подаче напряжения через коллектор 5. После тренировки изделия окончательно откачивают и наполняют рабочей смесью, для чего их соединяют через отверстия 15 с системой 11 напуска инертного газа, а затем запаивают.

При переводе изделий на позицию выгрузки отверстие канала 19 и отверстия каналов 28 выходят из контура канавки 13.

Предмет изобретения

Карусельный полуавтомат для вакуумной обработки и запайки электровакуумных и газоразрядных приборов, содержащий карусель с

откачными гнездами, имеющими сдвоенные уплотнители, разделенные полостью, стационарные вакууммые насосы, электрический коллектор, печь, систему индукционного нагрева и золотник в области высокого вакуума, состоящий из подвижного и неподвижного дисков с отверстиями для откачки и наполнения изделий, отличающийся тем, что, с целью устранения натекаиия воздуха из атмосферы в каналы откачки и наполнения изделий через золотниковый разъем и уплотнения откачных гнезд, на неподвижном диске золотника выполнена соединенная с одним из насосов замкнутая канавка, состоящая из чередующихся дуговых и радиальных участков и охватывающая только ту часть плоскости неподвижного диска, на которой расположены отверстия для откачки и наполнения изделий, а полости, разделяющие сдвоенные уплотнители, соединены с упомянутой канавкой каналами в подвижном диске золотника.

ч

iiю/4

д

Фиг.З 2U 27 28 5 7////////////// /////// тщ Фаг 28