Криогенный конденсационный насос Советский патент 1983 года по МПК F04B37/08 

(54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для получения высокого вакуума в технологических и испытательных установках. По основному авт.св. .№ 511430 нзЧ вестен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откаг1йва1ацим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, в зоне днища которого с минимальным зазором установлена кольцевая диафрагма, имеюцая тепловой контакт с экраном. Внутри сосуда, заполненног жидким газом, установлен адсорбционны насос, входной патрубок которого герметично прикреплен к днищу сосуда и площадь его проходного сечения составляет 0,,01 от площади отверстия диафрагмы. После заливки жидкого газа в сосуд происходит охлажление поверхностей сосуда и адсорбционного насоса Большая часть легкоконденсируемых Ком понент откачиваемого газа конденсируется на поверхности сосуда. Трудноконденсируемые газы поглощаются адсорбционным насосом, в результате чего улучшается вакуум внутри насоса, а следовательно, уменьшается теплоприток к сосуду с жидким газом -tl. Недостатком криогенного конденсационного насоса является то, что легкоконденсируемые компоненты конденсируются не только на поверхности сосуда, но значительная их часть успевает проникнуть во входной патрубок адсорбционного насоса и поглотиться адсорбционным насосом. Это уменьшает полезную емкость последнего, а следовательно, снижает надежность и .эффективность работы насоса. Цель изобретения - повышение надежности насоса. Указанная цель достигается тем, что адсорбционный насос снабжен подвижной заслонкой, перекрывающей его входной патрубок и имеющей механизм перемещения. Механизм перемещения выполнен в виде поворотного самотормозящего кулачка и связанного с ним и заслонкой подпружиненного стержня, На чертеже представлен предлагаемый криогенный конденсационный насос. Насос содержит корпуй 1, в котором размещен охлаждаемый экран 2.Внутри экрана 2 установлен откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, заполняемого жидким газом. Взоне днища сосуда 3 с минимальным зазором установлена кольцевая диафрагма 4, имеющая тепловой контакт с экраном 2. Внутри сосуда 3, заполненного жидким газом, установлен адсорбционный насос 5, входной патрубок 6 которого герметично прикреплен к днищу сосуда 3 и площадь его проходного сечения составляет 0,10,01 от площади отверстия диафрагмы 4. Адсорбционный насос 5 снабжен под вижной заслонкой 7, перекрывающей ег входной патрубок 6 и имеющей механизм перемещения. Механизм перемещения выполнен в виде поворотного самотормозящего кулачка 9 и связанного с ним и заслонкой 7 подпружиненного стержня 10. Стержень 10 подпружинен пружиной 11. Насос работает следукицим образом. Перед заливкой в сосуд 3 хладаген та предварительно закрывают входной патрубок б адсорбционного насоса 5 заслонкой 7. Для этого поворачивают по часовой стрелке кулачок 9 и засло ка 7 вместе со -стержнем 10 перемещается под действием пружины 11 ввер и плотно прижимается к нижнему торцу входного патрубка 6 адсорбционного насоса 5. Затем в сосуд 3 заливается хладагент, например жидкий гегЛИЙ, и происходит охлаждение поверхности сосуда 3 и адсорбционного насо са 5. Легко конденсируемые компоненты откачиваемого газа конденсируются на поверхности сосуда 3, при этом заслонка 7 прижатая к торцу, надежно предохраняет адсорбционный насос от проникновения в него легко конденсируемых газов. После того, как легко .конденсируемые газы сконденсируются на поверхности сосуда 3, открывается заслонка 7. Для этого кулачок 9 пов15ра1ивается против часовой стрелки и отжимает стержень 10 с заслонкой 7 вниз. Между заслонкой 7 и нижним торцом патрубка б образуется зазор, через который трудно конденсируемые газы поступают в адсорбционный насос 5 и поглощаются им, при этом улучшается вакуум внутри конденсационного насоса и уменьшается теплоприток к сосуду 3 с хладагентом. В предлагаемся криогенном конденсационном насосе адсорбционный насос полностью предохранен от доступа в него легко конденсируемых компонент откачиваемого газа, вследствие чего сохраняется его полезная емкость, а значит повыигается надежность и эффективность насоса. Формула изобретения 1.Криогенный конденсационный насос по авт.св. № 511430, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, адсорбционный насос снабжен подвижной заслонкой, перекрывающей его входной патрубок и имеющей механизм перемещения. 2.Насос ПОП.1, отличающийся тем, что механизм перемещения выполнен в виде поворотного самотор юзящего кулачка и связанного с ним и заслонкой подпружиненного стержня. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 511430, кл. F 04 В 37/08, 1974.

t