Криогенный конденсационный насос Советский патент 1984 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму 1.

Недостатки известного криогенного конденсационного насоса - сравнительно большой периметр, а также большая площадь зазора между кольцевой диафрагмой и днищем сосуда. Поэтому откачиваемый газ имеет хороший доступ через этот зазор к участкам откачивающего элемента насоса, у которых более высокая температура, чем самая низкая температура конденсирующей поверхности. В результате по мере понижения давления происходит перекачка газа, первоначально сконденсировавшегося на относительно теплых поверхностях, на более холодные через упомянутый зазор между кольцевой диафрагмой и днищем откачивающего элемента (сосуда), что приводит к увеличению времени получения предельного вакуума.

Целью изобретения является повышение быстроты действия.

Указанная цель достигается тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму, откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка, а кольцевая диафрагма установлена с минимальным зазором относительно патрубка.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда 3, и кольцевую диафрагму 4. Откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом 5, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка 6, а кольцевая диафрагма 4 установлена с минимальньш зазором относительно патрубка 6.

Насос работает следующим образом.

Заполняют экран 2 жидким азотом, а сосуд 3 ожиженным газом с более низкой температурой кипения. Откачиваемый газ конденсируется на поверхности дополнительного сосуда 5, площадь которой больше площади днища откачивающего элемента, в свя0 зи с чем обеспечивается повыщенная быстрота действия насоса.

Поскольку Диаметр патрубка 6 имеет сравнительно малый диаметр, периметр и площадь кольцевого зазора между диафраг5 мой 4 и патрубком 6 не велики. Поэтому соответственно мал поток газа через упомя нутый кольцевой зазор к участкам сосуда 3, имеющим более высокую температуру, чем температура его днища. В результате по мере понижения давления практически отсутст0 вует и обратная перекачка через упомянутый зазор газа, первоначально сконденсировавшегося в весьма малом количестве на относительно теплых поверхностях.

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму, отличающийся тем, что, с целью повыщения быстроты действия, откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка, а кольцевая диафрагма установлена с минимальным зазором относительно патрубка. ел со Is:) 00