СПОСОБ ИЗМЕЛЬЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХМАТЕРИАЛОВ Советский патент 1974 года по МПК B02C19/00 

1

Изобретение относится к изготовлению материалов методо.м порошко-вой металлургии.

Известен способ измельчения полупро водниковых материалов путем дроблен.ия их п.р« низких температурах.

Цель изобретен ия - уменьшить пластичность материалов и предохранить их от окисления.

Это достигается те.м, что измельчение осуществляют в инертных криогенных жидкостях, например в азоте, при температуре в пределаХ от 4°К до 100°К.

Испаряю-щаяСЯ криогенная жидкость создает инертную среду, препятствующую окисленйю.

Полупроводниковые материалы, помещенные в отвакуум.ированный эксикатор, вносятся в бОКС, в котором находится измельчающее устройство, например мельница, -и сосуд Дьюара с жидким азотом. Бокс гер метизируется и путем испарения части жидкого азота Из него удаляется воздух, а также создается небольшое избыточное давление азота. Вещество из эксикатора заПружается в мельницу, рабочее пространство которой соединено патрубком с сосудом Дьюара. Через патрубок подается дозируемое количество жидкого азота.

Таким образом, npoueicc измельчения проходит при низкой температуре и в инертной

среде. После окончания помола .вещество помещается в эксикатор, последний герметизируется и направляется для дальнейших технологических операций (просеивание, уплотнение, спекание и т. д.).

Проведенные опыты по измельчен11Ю тройных сплавов на основе Bi. Те, Se, Sb в среде жидкого азота показали, что таким путем удается сравнительно цросто получить весьма мелкие фракции и, что особенно важно, без их заметного окисления.

Предмет изобретения

Способ из мельчения полуп1роводниковых материалов путем дробления их при низких температурах, отличающийся тем, что, с целью уменьшения пластичности материалов и предохранения их от окисления, измельчение осуществляют в инертных криогенных жидкостях, нaпpи ep, в азоте, при температурах в пределах от 4°К до 100°К.