1
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения многослойных фотопроводящих покрытий, например, на поверхностях дисков, заваренных в стеклянные цилиндрические колбы, а также в других устройствах, где требуется обеспечить возвратно-поступательное перемещение раздельных транспортирующих органов, поочередно вводимых в рабочий объем малого диаметра.
Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее цилиндрическую камеру, штанги, .поворотную кассету с продольными каналами для штанг, механизм перемещения кассеты и подъемник щтанг. Однако указанное устройство имеет большие габариты и металлоемкость, а также не предотвращает самопроизвольного смещения подвижных элементов при эксплуатации.
Целью изобретения является повышение надежности работы устройства за счет снижения сопротивления трения и исключения самопроизвольного смещения подвижных элементов при эксплуатации. Это достигается тем, что устройство снабжено раздвижной стойкой, на которой посредством .приводного вала укреплены кассета и подъемник штанг, содержащий соединенные посредством гибкого троса, перекинутого через натяжной барабан, ведущий барабан и оборудованный пазовым заценом ползун, расположенный с возможностью перемещения на стержнях, смонтированных параллельно оси камеры, причем щтанги имеют штифты, а кассета изготовлена в виде сектора с поперечным пазом в нижней части и с продольными каналами, расположенными в плоскости кассеты радиально и выполненными с прорезями. На фиг. 1 показано предлагаемое устройство в аксонометрии; на фиг. 2 - устройство в разрезе, смонтированное на раздвижной стойке; на фиг. 3 - то же, разрез по А-А на фиг. 2; на фиг. 4 - то же, разрез по Б-Б на фиг. 2; на фиг. 5 - то же, разрез по В-В на
фиг. 2.
Устройство состоит из цилиндрической камеры 1; штанг 2 и 3; поворотной кассеты 4 с продольными каналами 5 для штанг; механизма перемещения 6 кассеты; подъемника
щтанг, содержащего соединенные посредством гибкого троса 7, перекинутого через натялсной барабан 8, ведущий барабан 9 и снабженный пазовым зацепом 10 ползун 11, укрепленный с возможностью перемещения на
стержнях 12, смонтированных параллельно оси камеры; раздвижной стойки, включающей верхнюю и нижнюю части 13 и 14, скрепленные болтами 15, на которой посредством приводного вала 16 крепится кассета 4 и подъемник щтанг.
Кассета может свободно вращаться на валу 16 на подшипниках 17. Стержни 12 одним концом закреплены в нижней части 14 стойки, а их свободные концы зафиксированы от боковых перемещений в гнездах 18.
Штанги 2 и 3 снабжены штифтами 19. Кассета 4 выполнена в виде сектора с поперечным пазом 20 и продольными каналами 5, расположенными в плоскости кассеты радиально и имеющими прорези 21. Каналы 5 закрыты крышками 22.
На внутренней стороне нижней части 14 стойки находятся ограничители 23 с упорными винтами 24, а на кассете 4 со стороны ограничителей и между ними - выступ 25. С валом 16 подъемника при помощи полумуфты 26 сочленен сильфонный ввод вращения 27. Перемещение кассеты осуществляется рычажным механизмом перемещения с сильфоном. Вакуумноплотный зажим изделия 28 обеспечивается уплотнительным механизмом 29, расположенным в верхней части вакуумной камеры 1. Вакуумная камера присоединяется к вакуумной системе посредством патрубков 30.
Введение, например, штанги 3 с испаряемым веществом в рабочий объем изделия 28 осуществляют следующим образом.
Вручную при помощи рычажного механизма перемещения 6 кассету 4 устанавливают в рабочее положение. При этом кассета свободно поворачивается на подшипниках 17. выступ 25 упирается в один из ограничителей 23, оси подъемной штанги 3 и вакуумной камеры 1 совмещаются, а пазовый зацеп 10 входит в поперечный паз 20 и зацепляется с штифтом 19 на нижнем конце штанги 3.
Далее при помощи ввода вращения 27 поворачивают полумуфту 26 на свободном конце вала 16 подъемника. Вместе с валом поворачивается ведущий барабан 9, приводящий в движение бесконечный гибкий трос 7, который поднимает ползун 11, скользящий по направляющим стержням 12. Пазовый зацеп 10 при этом входит в продольную выемку и, перемещаясь вдоль нее, продвигает по прорези 21 штифт 19, транспортируя по радиальному каналу 5 подъемную штангу 3. Расположение пазового зацепа в продольной выемке на
кассете предотвращает также самопроизвольный разворот последней во время рабочего хода штанги 3. После напыления первого слоя операции перемешения штанги и кассеты производят в обратном порядке и повторяют снова для напыления следующего слоя без нарушения вакуума.
Натяжение троса 7 подъемника обеспечивается смещением верхней части 13 стойки вместе с натяжным барабаном 8, фиксируемой относительно нижней части 14 болтами 15. Верхние незакрепленные концы направляющих стержней 12 при этом перемещаются в гнездах 18.
Применение бесконечного гибкого троса 7 аля подъема штанг, четырехугольное сечение каналов 5 и цилиндрическая форма штанг 2 и 3, а также малый объем кассеты 4, подвижных элементов и вакуумной камеры 1 обеспечивают нормальную откачку вакуумного объема и минимальное трение при эксплуатации.
Предмет изобретения
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее цилиндрическую камеру, штанги, поворотную кассету с нродольными каналами для штанг, механизм перемещения
кассеты и подъемник штанг, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства за счет снижения сопротивления трения и исключения самопроизвольного смещения подвижных элементов нри эксплуатации, оно снабжено раздвижной стойкой, на которой посредством приводного вала укреплены кассета и подъемник штанг, содержащей соединенные посредством гибкого троса, перекинутого через натяжной барабан,
ведущий барабан и снабженный пазовым зацепом ползун, укрепленный с возможностью перемещения на стержнях, смонтированных параллельно оси камеры, причем штанги снабжены штифтами, а кассета выполнена в виде
сектора с поперечным пазом в нижней части и с продольными каналами, расположенными в плоскости кассеты радиально и выполненными с прорезями.
-21
16
e-ff
l
2
