КОНДЕНСАТОР НЕРЕЛ1ЕННОЙ ЕМКОСТИ Советский патент 1974 года по МПК H01G7/00 

Изобретение относится к радиотехнике.

Известны конденсаторы переменной емкости, состоящие из диэлектрической подложки, на которую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и термохимически активных металла и диэлектрика.

Цель изобретения - обеспечение возможности управления величиной емкости с номощью электрического сигнала.

Эта цель достигается тем, что в слое термостойкой диэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель, выполненный с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль его оси.

На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый конденсатор; на фиг. 2 - сечение по А-А на фиг. 1.

Конденсатор переменной емкости содержит диэлектрическую подложку 1, выполненную, например, из кварца, сапфира, керамики, тугоплавкого стекла, подогреватель 2, выполнепный из тонкой металлической пленки, например молибденовой, с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль оси подогревателя 2, металлические пластины 3, образующие верхние обкладки дискретных емкостей конденсатора, термостойкую диэлектрическую пленку 4, например, из окиси алюминия, разделяющую рабочую и управляю2

щую части конденсатора, слой 5 термохимически активного металла, например алюминия, слой 6 термохимически активного диэлектрика, например двуокиси кремния, металлическую пленку 7, образующую нижнюю обкладку конденсатора, слой 8 тер.мостойкого диэлектрика, электроды 9 и 10 управляющей цепи, подсоедипенные к подогревателю 2, выводы 11 и 12 обкладок конденсатора.

Все эти пленочные элементы нанесены последовательно один за другим из паровой фазы методом вакуумного испарения.

Изменение емкости между выводами 11 и

12 осуществляется пропусканием электрического тока через электроды 9 и 10 управляющей цепи и подогреватель 2. При этом в зависимости от величины управляющего тока меняется температура нагрева как самого

подогревателя 2, так и находящихся с ни.м в тепловом контакте термохимически активных металла и диэлектрика. Эта температура распределяется неравномерно вдоль оси подогревателя.

Когда в какой-то точке температура термохимически активных слоев 5 и 6 достигает критического значения (300-350° для алюминия), они вступают в химическую реакцию, результато.м которой является преобразование

слоя 6 диэлектрика в металл, сплавляющий расположенные над ним пластины 3 конденсатора. Так как слои 5 и 6 представляют собой тонкие пленки, химическая реакция, начавшаяся в результате внешнего подогрева за счет но- 5 догревателя 2, даже если она носит экзотерчмический характер, не может распространяться за пределы зоны критической температуры. Подогреватель 2 имеет неравномерное сег- -чение, благодаря чему по мере увеличенияю управляющего тока зона критической температуры передвигается между электродами 9 и 10 управляющей цепи. Соответственно смещается зона лротекания химической реакции и обр азования взамен диэлектрика металли-is ческой пленки, замыкающей соответствующие пластины 3 конденсатора переменной емкости. Размеры и число пластин 3 выбраны такими, чтобы при включении каждой очередНОИ нластины к общему выводу 11 скачкооб-20 разное изменение емкости было незначительным, сравнимым с обычным нарушением плавности регулировки, наблюдаемым яри вращении оси известных типов подстроечных конденсаторов, П р е дм ет изобретения Конденсатор переменной емкости, состоящий из диэлектрической подложки, на которую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и термохимически активных металла и диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности управления величиной емкости с помощью электрического сигнала, в слое термостойкой диэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель выполненный с переменным сечением плавно изменяющимся вдоль его оси