Способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента Советский патент 1974 года по МПК G01N25/56 

1

Изобретение относится к способам изготовления пьезосорбционных чувствительных элементов и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов, в частности датчиков влажности газов.

Известен способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента путем нанесения на кварцевую пластину с серебряными электродами полимерного сорбента, например капрона, и последующей термообработки.

Изготовленные этим способом чувствительные элементы нестабильны во времени, вследствие чего снижаются их сорбционная способность к водяному пару, чувствительность, точность. Кроме того, невозможна их длительная эксплуатация из-за химического взаимодействия серебряных электродов с сернистыми соединениями, микропримеси которых постоянно нрисутствуют в воздухе, а также из-за того, что структура капрона, термостабилизированного известным способом, недостаточно стабильна.

Целью изобретения является повышение точности, чувствительного элемента и увеличение срока его эксплуатации.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что серебряные электроды кварцевой пластины сульфируют, помещая пластину в камеру, заполненную насыщенными парами сероводорода, выдерживают при температуре 45-50°С в течение двух суток. Затем на пластину с электродами наносят, например, путем распыления, пленку капрона - раствор полие-капромида в 85%-ной муравьиной кислоте. После этого чувствительный элемент подвергают термообработке в сухой камере при температуре 170-180°С в течение 10 мин в среде инертного газа, после чего чувствительный элемент охлаждают до комнатной температуры в течение 20 час в той же среде.

Предмет изобретения

Способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента путем нанесения на

кварцевую пластину с серебряными электродами полимерного сорбента, например капрона, с последующей термообработкой, отличающийся тем, что, с целью новыщения точности чувствительного элемента и увеличения срока его эксплуатации, серебряные электроды кварцевой пластины сульфируют, для чего кварцевую пластину помещают в камеру, заполненную насыщенными нарами сероводорода, выдерживают при температуре

50°С в течение двух суток, затем после нанесения сорбента термообработку осуществляют в сухой камере, нагревая элемент при температуре 180°С в течение 10 мин в среде инертного газа, после чего элемент охлаждают до

комнатной температуры в той же среде в течение 20 час.