Стекло Советский патент 1974 года по МПК C03C3/22 

1

Изобретение относится к составам кристаллизующихся стекол, используемых для изоляции компонентов интегральных схем.

Известно стекло, включающее SiOj, , MgO, TiOa.

Цель изобретения - получить спай с кремнием при температуре ниже 1210°С.

Достигается это тем, что стекло дополнительно содержит SrO при следующем соотношении компонентов, вес. %: SiO2 50-55; АЬОз 20-25; MgO 5-10; TiOs 8-:12; SrO 5-10.

Пример. Предлагаемое стекло содержиг следующие компоненты, вес.%: SiO2 52±1; АЬОз 21 ±1; MgO 8+0,5; SrO 8±0.5; ТЮ2 11±1.

Стекло имеет следующие физико-механические свойства:

40±2

Коэффидиепт термического расширения, 1200±10

Температура спаивания с кремнием, °С Юз

Удельное объемное сопротивление при 100°С, ом/см 15-20 10Тапгепс угла диэлектрических потерь

6-6,5

Диэлектрическая пронипаемость

Электрическая прочность, кв/мм 50

Предмет изобретения

Стекло, включающее Si02, А120з, MgO, TiO2, отличающееся тем, что, с пелью получения спая с кремнием при температуре ниже 1210°С, оно дополнительно содержит SrO при следующем соотношении компонентов, вес.%: Si02 50-55; АЬОз 20-25; MgO 5-10; Ti02 8-12; SrO 5-10.