Способ изготовления элемента, чувствительного к влажности газа Советский патент 1974 года по МПК G01N25/56 

Изобретение относится с способам изготовления элементов, чувствительных к влажности газа и может быть использовано при изготовлении приборов для измерения относительной влажности воздуха.

Известен способ изготовления элемента, чувствительного к влажности газа, путем нанесения на кварцевую пластину с серебрян ными электродами пленки взагочувствительного вещества. Однако изготовленные по известному способу чувствительные злементы не обладают воспроизводимостью, так как известный способ не позволяет наносить с необходимой точностью одинаковую массу влагочувствительного вещества на партии кварцевых пластин, и полученные на них пленки неравномерны по толщине. Кроме того, такие элементы . имеют плохую стабильность характеристик, так как с течениемвремени происходит постоянный уход частоты колебаний чувствительных элементов в сторону ее уменьшения

Цель изобретения - повышение стабильности характеристик чувствительных элементов.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу влагочувствительное вещество растворяют в летучем растворителе, раствор наносят на вращающийся с определенной скоростью кварцевый пьезоэлемент путем распыления через диафрагму, установленную на определенном расстоянии от центра вращения кварцевого пьезоэлемента. После испарения растворителя с поверхности чувствительного элемента последний подвергается стабилизации путем циклического воздействия нэ элемент газовых сред с влажнос|йии О и IOQ% при температуре 50°С,

Способ реализуется в следующей последовательности. Раствор Благочувствительного вещества (0, раствор поли-Е-капромидз в муравьиной кислоте) наносят с помощью распылителя на вращающийся со око ростью 1000 об/мин кварцевый пьезоэлемент через диафрагму диаметром 5 мм, установленную между рас пылителеу и кварцевым пьезоэлемен том по оси напыления струи. Через определенное, время напыление приостанавливают и чувствительный эд9мент медленно сушат при тёмперс туре 20-25 С в течение 24 час. Затем раствор влагоч;увствительного вещества наносят на кварцевую пластину, вращающуюся со скоростью 2000 об/мин через диафрагму диметром I мм. Напыление продолжается до получения на поверхности кварцевой пластины необходимого количества вла гочувствительного вещества. После сушки чувствительного элемента при температуре 20-25С в среде сухого воздуха в течение 2 час. его подвергают стабилизации путем пиклического воздействия на элемент газовых сред с влажностями О и 100 при темпераTYpe . Время выдержки чувствйтельного элемента при одной влажности час. Для стубиаизации чувствительного элемента количество циклов равно 20. ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Способ изготовления элемента, чувствительного н влажности газа, путем нанесения пленки распылением раствора полиамида в муравьиной кислоте на кварцевый пьезо зоэлемент, отличающий,. СИ тем, что, с целью повышения стабильности характеристик чувствительного элемента, пленку влагочувствительного вещества наносят на вращающийся кварцевый пьезо лемент через сменные диафрагмы в два приема, причем за первый прием наносят 90-95 массы пленки, затем элемент выдерживают на воздухе при температуре не более в течение 24 час, после чего наносят остальную массу пленки за второй прием, элемент сушат в средр сухого воздуха при 20-25 С и подвергают стаоилизации двадцатикратного циклического воздействия воздухом с влажностями О и 100 при с выдержкой в воздухе с указанными влажностями по I час. за каждый цикл.