Способ изготовления пъезорезонансного датчика Советский патент 1981 года по МПК H03H3/02 

(Б) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНОГО ДАТЧИКА

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении пьезорезонансных датчиков аммиака. Известен способ изготовления пьезо резонаисных датчиков газового состава, основанный на нанесении сорбционного покрытия на поверхность пьезо элемента, при котором в качестве покрытия используют пленки стекла, крем неземе, MgF, медь, золото, сульфированный полистирол, силикагель с различными пропитывающими составами, причем покрытия наносят на пьезоэлемент, например, вакуумным напылением, электрохимическим осаждением, нанесением раствора с последующим испарением растворителя fl. Недостатком этого способа является отсутствие избирательной чувствительности по аммиаку. Известен также способ изготовления пьезорезонансных датчиков, при котором на электроды пьезоэлемента наносят пленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества. В качестве покрытия при этом используют производные капрона, растворенные в муравьиной кислоте, которое наносят на вращающийся с определенной скоростью пьезоэлемент распылением через диафрагму f 2. Недостатком известного пьезорезонансного датчика также является отсутствие избирательной чувствительности к.а.ммиаку, поскольку присутствие в атмосфере паров аммиака выводит из строя датчик вследствие необратимого химического взаимодействия аммиака и его производных с капроном. Цель изобретения - обеспечение избирательной чувствительности пьезорезонансного датчика к аммиаку. Указанная цель достигается тем, что в качестве материала покрытия выбирают медь споследующим воздействием на нее паров хлорида титана (IV), при этом весовое соотношение 3 выбирают из условия непревышения соотношения 1: . Пример. Последовательность операций при выполнении предлагаемого способа следующая: пьезоэлемент с серебряными электродами обезжиривают и очищают, затем на поверхность серебра электрохимическим способом наносят медь так, чтобы уход мастоты вследствие нанесения меди составил 10-150 кГц. Пьезоэлемент с медным электродом тщательно промывают дистиллированной водой, сушат и затем обрабатывают парами ИСЦ в потоке газа, осушенного от паров воды до влагосодержания не выше 200 мг/м или в вакууме с остаточным давлением не выше 0,1 мм рт.ст. Пленка продуктов способна реагиро вать с аммиаком с образованием различных комплексных соединений аммиаком с образованием различных компле сных соединений аммиакатом меди и ти тана. Таким образом масса пленки воз растает, что сопровождается уменьшением резонансной частоты. По мере ув личения концентрации аммиака образуется большее число аммиакатов с высо ким содержанием аммиака и масса плен ки растет. При снижении концентрации аммиака аммиачные комплексы начинают 5 разрушаться и масса пленки уменьшается. Предлагаемый способ позволяет изготовить яьезорезонансный датчик, обладающий высокой чувствительностью к аммиаку и дающий возможность измерять количество аммиака в атмосфере при его концентрации от 1 до более 2000 мг/м. Формула изобретения Способ изготовления пьезорезонансного датчика, при котором на электроды пьезоэлемента наносят лленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества, отличающийся тем, что, с целью обеспечения избирательной чувствительности датчика к аммиаку, в качестве материала покрытия используют медь с последующим воздействием на нее паров хлорида титана (IV), при этом весовое соотношение выбирают из условия непревышения соотношения 1:. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Мапов В.В. Пьезорезонансные датчики. М., Энергия, 1978, с. 201-210. 2.Авторское свидетельство СССР W V4U26, кл. G 01 N 25/60, 197.