УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ДВУСТОРОННЕЙ ФОТОПЕЧАТИ Советский патент 1969 года по МПК G03F9/00 H05K3/00 

Известны устройства для контактной двусторонней фотопечати, содержандие фотошаблоны, укрепленные на рамах, и центрирующие элементы, соединенные с рамами.

В предложенном устройстве для повышения точности совмеш.ения фотошаблонов подвижная рама опирается на толкатели, а центрирующие элементы выполнены в виде упругих пластин, одни концы которых присоединены к рамам, а другие соединены между собой.

Конструкция устройства изобр-ажена на чертеже.

Подвижиая рама У связаиа с неподвижиой рамой 2 плоскими, скрепленпыми па концах упругими пластинами 3. Толкатели 4 обеспечивают перемещение подвижной рамы. Креиление фотошаблонов 5 к рамам осуществляется при иомощи вакуумных присосок 6. Маижеты 7, укреилеиные на рамах, обеспечивают создание вакуума в полости между ра.мамп.

На неподвижной раме закреплены три приспособлепия 8, служащие для перемеи1,ения одного фотошаблона относительно другого при первичном совмещении, состоящие из червяка 9, червячного колеса 10, установленного на эксцентрике //, ролика 12, укрепленного на корпусе рамы, п ролпка 13, размещенного па эксцентрике.

В процессе работы при помощи толкателей 4 раму / отводят от рамы 2. На ролике 12 устанавливают один из фотошаблонов 5, а на ролик 13 - второй фотошаблон. Поочередным вращением червяков 9 производят совмещение фотошаблонов. Отпуская толкатели 4, возвращают подвижпую раму в исходное положение и устанавливают устройство в горизонтальной плоскости. Затем при иомощи толкателей разводят рамы с фотошаблонами и помещают между ними заготовку, покрытую с двух сторон фоторезистом. Возвращают подвижную раму / в исходное иоложепие и создают вакуум в полости между рамами. После окончания экспозиции прекращают вакуумирование и удаляют заготовку.

Предмет изобретения

Устройство для контактной двусторонней фотоиечати, содержащее фотошаблоиы, укрепленные на рамах, п центрирующие элементы, соедииенные с рамами, отличающееся гем, что, с целью повьпиепия точности совмещения фотощаблонов, подвижная рама опирается па толкатели, а центрирующие элементы выполнены в виде упругих пластин, одни ко1щы которых прпсоедннены к рамам, а вторые соединены собой.