Шлюзовое устройство для вакуумных установок Советский патент 1974 года по МПК C23C14/56 

1

Изобретение относится к вакуумным шлюзовым устройствам.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее корпус со шлюзовыми камерами и роторы с загрузоч ными полостями.

в таком устройстве каждый ротор имеет свой вал врашения и свой привод. Кроме того, при вращении роторов изделие переворачивается на 180 .

Цель изобретения - упрощение конструкции и сохранение определенной ориентации загружаемых изделий.

Для этого роторы предлагаемого шлюзового устройства вьшолнены со сквозными отверстиями, размещены, на одном валу, снабжены одним приводом и разделены перегородками, вмонтированными в корпус и имеющими сквозные отверстия, смещенные одно относительно другого. ,

На фиг. 1 изображено предлагаемое шлюзовое устройство для вакуумных установок в разрезе, общий вид; на фиг. 2 разрез по А-А на фиг. 1; на фиг. 3 -разрез по Б-Б на фиг. 1.

Устройство состоит из корпуса 1 со шлюзовыми камерами 2 и 3 для ступенчатого понижения давления и роторов 4, с загрузочными полостями 7.

Роторы размещены на одном вертикальном валу 8, который имеет один ввод вращения 9 из атмосферы в вакуумную полость.

Роторы 4,5,6 разделены между собой герметизирующими перегородками 1О и 11 корпуса 1. Загрузочные полости 7 в роторах 4,5,6 вьшолнены сквозными и расположены одна над другой. Шлюзовые камеры 2 и 3 находятся в перегородках 1О и 11 корпуса 1 со смещением одна относительно другой по углу для обеспечения поступления транспортируемых изделий или материалов последовательно при вращении из полости 7 предыдущего ротора в полость 7 следующего ротора и затем В вакуумную рабочую камеру 12. Шлюзовые камеры 2 и 3 со ступенчато понижающимся давлением откачиваются вакуумными насосами через патрубки 13 и 14. Через окно 15 корпуса 1 производится

загрузка, а через окно 16-выгрузка изделия.

Внутренняя новерхность корпуса 1 с наружной поверхностью роторов ,6 образует узкие щели, ограничивающие натекание воздуха из атмосферы и области низкого вакуума в область высокого вакуума. Стрелками показана загрузка транспортируемых изделий из атмосферы в ротор, перегрузка из ротора в ротор через шлюзовые камеры и выгрузка в рабочую вакуумную камеру.

Устройство работает следующим образом.

Через окно 15 происходит загрузка изделия в одну из полостей 7 верхнего ротора 4.1 При этом изделие ложится на поверхность перегородки 1О корпуса 1 и при вращении синхронно вращающихся роторов 4, 5, 6 скользит по ней. В момент совмещения загрузочной полости 7 с щлюзовой камерой 2 происходит перегрузка изделия под собственным весом без переворачивания и без нарушения ориентации в одну из соответственно противоположных полостей 7 ротора 5, а также откачка поступившего воздуха через патрубок 13. Пройдя таким же образом через шлюзовую камеру 3, изделие при повороте последнего ротора 6 попадает в вакуумную рабочую камеру 12.

При использовании предлагаемого щлю- зового устройства для выгрузки изделий из BaKyyMHbtx рабочих камер его крепят к камере в перевернутом положении. Работа устройства осуществляется в том же порядке, что и при загрузке.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее корпус, роторы с загрузочными полостями, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и сохранения ориентации загружаемых изделий, роторы размещены на одном валу, имеют привод вращения и раздельны между собой перегородками, вмонтированными в корпус, причем в перегородках выполнены сквозные отверстия, смещенные относительно другого, а загрузочные полости выполнены сквозными.