Изобретение относится к области получения металлов и сплавов в частности к осааденжю металлов и сплавов на подложке за счет химического восстановления летучих соединений этих металлов водородом. Известен способ осаждения металлов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих металлов водородом посредством подачи водорода и паров летучего соединения по одну сторону подложки, на поверхности которой происходит осаждение металла или сплава. Предлахаемый способ отличается от известного раздельной подачей водорода и паров летучего соедине ния с противоположных сторон подложки, на одной из сторон которой вследствие диффузии водорода через подложку происходит восстановление летучего соединения и осаждение металла или сплава. Это позволяет по1высить равномерность осадков по толщине и снизить содержание прямесей. Процесс осааденжя осуществляют следующим образои« ВодорЪд, являющийся восстановителем, подают под давлением с одной стороны покрываемой поверхности, которая должна быть выполнена из материала, обеспечивающего относите лько высокую скорость диффузии водорода, а летучее соединенже наносимого металла - с другой стороиы. Оба пространства герметжзжруют, ж весь объем нагревают до температуры восстановления летзгчего соединения. Перенос паров летучего соеджнения к покрываемой поверхностж ж отвод газообразных продуктов реакции производят инертным га.зом. За счет диффузии водорода через подложку на ее противоположной поверхности осаждается металл, жди сплав. Для ускорения процесса его проводят прж максимально высокжх тешературах, обеспечжвающжх доста.Фочыо высокие скорости диффузии водорода и восстановления летучего соединения, а также при повышенном давлении водорода от I до 15 атн (с постепенным повышением его по мере роста толщины осаждаемого металла или сплава). Время процесса определяется требуемой толщиной металлического осадка При получении чистых металлов или сплавов, а также изделий, подложка может быть затем удалена.
Предложенным способом получают компактные чистые металлы и различные сплавы, однослойные и многослой ные покрытия, композиционные материалы и разнообразные изделия.
Пример I. Для получения осадка чистого никеля в кварцевый реактор загружают никелевую трубку с толщиной стенки 0,1 мм и никелевую лодочку с предварительно обезвоженным хлоридом никеля марки осч. Реактор продувают аргоном и затем внутрь никелевой труокд подают водород под давлением 1-3 ати. При нагреве реактора до 950-1100 С начинается диффузия водорода через стенку трубки и восстановление паров хлорида никеля до металла. Скорость осаждения нжеля 7 г/час. Полученный на внешней стенке трубки осадок никеля имеет ровную гладкую поверхность. Суммарное содержание примесей постороннихметаллов в осадке го 2 «ю- вес. (в исходном хлориде никеляг вес,).
Пример 2. Для получения сплава никель-медь используют смесь обезвоженных хлорида никеля и однохлористой меди в весовом соотношеНШ1.2:1. При 900-9700С формируется осадок сплава никель-медь с содержанием меди 18%,
ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Способ осаждения металлов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих шталлов водородом на поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности осадков по толщине и снижения содержания примесей, водород и летучее соединение подают с противоположных сторон покрываемой поверхности.
