Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов Советский патент 1974 года по МПК G01R27/00 

1

Изобретение относится к области измерительной и полупроводниковой техники.

Известно устройство, принцип действия которого основан на использовании светового зонда, возбуждаюн1его неравновесную проводимость в исследуемом образце, в состав которого входят гецератор (1;ВЧ-колебаний, резонатор с исследуемым образцом, устройство, формирующее световой зонд, видеодетектор с сопротивлением нагрузки и индикаторное устройство для измерения напряжения сигнала на сопротивлении нагрузки видеодетектора. Удельное сопротивление образца с помощью этого устройства определяется по величине напряжения на сопротивлении нагрузки видеодетектора.

Цель изобретения - повысить чувствительность устройства, уменьщить его габариты и вес.

Для этого измерительный резонатор совмещают с резонатором СВЧ-генератора.

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства с помещенным в него исследуемым образцом.

Устройство содержит СВЧ-генератор 1, полупроводниковый диод 2, блок питания 3, емкостный зазор 4, резонатор 5, видеодетектор 6, измерительный блок 7, сопротивление нагрузки 8, световой зонд 9, формирующее

устройство 10. В резонатор помещен исследуемый образец 11.

Устройство работает следующим образом.

С помощью светового зонда 9 в участке образца 11 возбуждается неравновесная проводимость, что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 5. Поскольку мощность и частота генерации генератора 1 определяются добротностью и резонансной частотой резонатора 5, в который помещен активный элемент, то модуляция добротности и резонансной частоты резонатора приводит к амплитудной и частотной модуляции выходной СВЧ-мощности генератора 1, причем глубина модуляции СВЧ-мощности оказывается пропорциональной удельному сопротивлению освещенного участка образца И.

Выходная мощность СВЧ-генератора 1 подается на видеодетектор 6, и на сопротивлении нагрузки 8 с помощью измерительного прибора 7 измеряется напряжение сигнала, пропорциональное удельному сопротивлению освещаемого световым зондом 9 участка образца 11.

Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов.

содержащее СВЧ-генератор подачи смещения на исследуемый образец, блок формирования светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, отличающееся тем, что, с

целью повышения чувствительности, уменьщения габаритов и веса устройства, измерительный резонатор совмещен с резонатором СВЧ-генератора.