Графитовый нагреватель подложек Советский патент 1974 года по МПК C23C13/12 

Описание патента на изобретение SU444834A1

/5V ГРАФИТОВЫЙ РДГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Похожие патенты SU444834A1

название год авторы номер документа
Способ определения коэффициента теплопроводности при температурах до 2800 К полупроводниковых, композиционных материалов 2020
  • Ким Лев Владимирович
  • Меламед Анна Леонидовна
  • Воронцов Владимир Алексеевич
  • Корчинский Никита Андреевич
RU2748985C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА ПОРОШКОВ ПРЯМЫМ ПРОПУСКАНИЕМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ТОКА ПРИ ГОРЯЧЕМ ПРЕССОВАНИИ 2007
  • Герасимов Валерий Федорович
  • Журавлев Владимир Васильевич
  • Мартынов Борис Васильевич
  • Чернобай Александр Петрович
RU2354499C1
Резистивный электронагреватель для печей 1977
  • Малей Михаил Дмитриевич
  • Федотов Владимир Николаевич
SU684788A1
Высокотемпературный модульный инфракрасный нагревательный блок 2023
  • Ходжаев Юрий Джураевич
  • Суслин Владимир Владимирович
RU2809470C1
Устройство для разогрева ванны электролизера номинальным током серии 1990
  • Игнатьев Вячеслав Михайлович
  • Кулаков Павел Алексеевич
  • Приходченко Вячеслав Иванович
  • Скоморохов Юрий Николаевич
SU1775504A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗОГРЕВА КАРТЕРНОГО МАСЛА ДВИГАТЕЛЯ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ 2005
  • Степанов Иван Георгиевич
  • Бобровская Наталия Ивановна
RU2285810C1
СОЛНЕЧНО-ВОЗДУШНАЯ ВОЗДУХОТУРБИННАЯ ЭЛЕКТРОСТАНЦИЯ 2009
  • Морозов Сергей Павлович
RU2413904C1
Композитный нагреватель текучих сред 2015
  • Авдеева Наталья Эриковна
  • Шляндин Сергей Михайлович
RU2615180C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ФТОРИДОВ И СПОСОБ ИХ ПОЛУЧЕНИЯ 2015
  • Морозов Олег Александрович
  • Наумов Александр Кондратьевич
  • Ловчев Александр Владимирович
RU2599672C1
СПОСОБ СУШКИ МАТЕРИАЛОВ В СЛОЕ И НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2000
  • Арсентьев А.А.
  • Соколов В.А.
RU2185579C1

Иллюстрации к изобретению SU 444 834 A1

Реферат патента 1974 года Графитовый нагреватель подложек

Формула изобретения SU 444 834 A1

Изобретение относится к вакyy шoй технике и может быть использовано для нагревания подаюжев микросхем. Известные графитовые нагреватели подяожек, выполненные в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами имеют изотермическую зону, площадь которой существенно меньше общей площади нагре вателя, и, следовательно, не позво ляют с максимальной эффективностью использовать вакууглные установки. Цель изобретения - расширение изотермической зоны нагревателя. Это достигается тем, что в теле пластины на участках, прилегающих к токопроводам, выполнены отверстия, поперечнсе сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой температурой нагрева. На чертеже изображен предлагаемый нагреватель, общий вид. Нагреватель выполнен в виде пластины I, электрически соедщненной с токопроводами 2.В хелв пластины I выполнены отверстия 3. Участки пластины , прилегащие к токопроводам, дополнительно охлаждаются последними, но потери тепла через токопроводы компенсируются выделением относительно большего количества тепла на участках с отверстиями, чем на остальных участках пластины. Это объясняется тем, что участки пластины с отверстиями ШvIeют большее погонное сопротивление, чем остальные участки, в то время как через все участки пластины проходит о дан и тот же электрический ток. При соответствующем выборе размеров и количества отверстий при определенном токе,обуславливающем требуемую температуру,может быть обеспечена изотермичность практически всей площади нагревателя,Это позволяет существенно повысить производительность вах умной установки,ПРЩМБТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Графитовый нагреватель поддожек, внполненный в виде пластинн, электрически соединенной о токопроБодами, отличанищйся тем, что, с целью расширения изотермической зоны нагревателя, в теле пластины

на участках,прилегащих к токопроводамц выполнены отверстия, поперечное сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой температурой нагрева.

SU 444 834 A1

Авторы

Седых Анатолий Сергеевич

Сидоров Владимир Алексеевич

Даты

1974-09-30Публикация

1973-07-27Подача