Кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием Советский патент 1974 года по МПК C03C3/22 

1

Р1зобретение относится к составам кристаллизующихся стекол для спаивания с кремнием и может использоваться при изготовлении интегральных схем с диэлектрической изоляцией компопентов.

Из(вестно кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием, включающее SiOs, АЬОз, ZnO и ВаО.

Цель изобретения - улучшение адгезии к кремнию и снижение температуры спаивания,

Это достигается тем, что стекло содержит указанные компонепты в следующих количествах, вес. %:

SiOa

39-46 АЬОз

15-22 ZnO

10-20 ВаО 21-30

Стекло может быть иллюстрировано следующим конкретным примером, содержащим компоненты в следующих количествах, вес, %: SiOa43,6

АЬОз15,9

ZnO16,7

ВаО23,8

Это стекло кристаллизуется при 1150°С в течение 45-60 мин, хорошо спаиваясь при этом с монокристаллами кремния. Стрела прогиба конструкции при толщине кремния 0,3 мм, по2

крытия 0,5 мм и при диаметре пластины 30 мм пе превышает 10-15 мкм п не меняется в процессе дальнейшей термообработки.

Свойства закристаллизоваппого стекла следующие:

Коэффициент термического расширения - а-10 1/°С в интервале температур 20-700°С36-37

Химическая стойкость 1 гидролитичеОптимальная температура

спаивания с кремпием Время термообработки

Предмет изобретения

Кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием, включающее SiO2, АЬОз, ZnO, ВаО, отличающееся тем, что, с целью улучшения адгезии к кремнию и снижения температуры спаивания, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах,

%: вес.

SiOs

39-46 15-22

АЬОз 10-20

ZnO 21-30

ВаО