Кассета для химической обработки и отмывки пластин Советский патент 1975 года по МПК H01L7/68 

i

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов.

Известна кассета для химической обработки и отмывки пластин, содер}кащая ячейки для укладки пластин, выполненные в виде парных пазов на концентрично расположенных поверхностях, одна из которых (меньшего диаметра) является наружной образуюндей цилиндра, а другая (большего диаметра) - образующей внутренней поверхности усеченного конуса.

Между цилиндром и конусом образовано сквозное кольцевое отверстие для доступа реагента.

Недостатком известной кассеты является то, что при перемешивании раствора пластины вснлывают и перемеш,аются в соседнюю ячейку, что приводит к их слипанию. Кроме того, возможно выпадание пластин через кольцевое отверстие и их поломка.

С целью упрощения конструкции кассеты и повышения ее надежности в иредлагаемой кассете корпус выполнен в виде ступенчатого цилиндра с осевым отверстием, имеющего на наружной цилиндрической поверхности каждой стунени кольцевую проточку, продольное сечение которой образовано параллельными прямыми, расположенными к оси корпуса

под углом около 45° и сонряженных в нижней части полуокружностью, причем сечение каждого паза для пластин образовано углублением на 1,5 - 2 мм вдоль всей образующей сечения кольцевой проточки, а фиксатор пластин выполнен в виде колпака, повто)яющего форму корпуса.

На чертеже показана предлагаемая кассета и разрез по А-А.

Кассета содержит корпус 1, выполненный в виде ступенчатого цилиндрического стержня с осевым отверстием 2. Каждая ступень корпуса имеет кольцевую проточку 3, сечение которой имеет в нижней части нолуокружность 4,

сопрягающую нараллельные прямые 5, расположенные к оси корпуса под углом около 45. Ячейка 6 для пластины 7 образована пазом одинаковой глубины (1,5 - 2 мм), профрезерованным вдоль всей образуюи1,ей сечения

кольцевой проточки. На корпус 1 надет колпак-фиксатор 8. В верхний торец конуса 1 ввернута ручка 9 для переноски кассеты. В корпусе 1 и колпаке-фиксаторе 8 вынолнены отверстия 10 для прохода реагеита и циркуляции его при перемешивании.

Перед загрузкой кассеты колпак-фиксатор 8 снимается с корпуса 1, и пластины 7 вставляются в пазы ячеек 6. В результате наклона оси проточки 3 нластины не выпадают из ячеек. После загрузки