Устройство для электролитической обработки пластин Советский патент 1975 года по МПК H01L7/68 

нен обод 10 с контактными кольцами 11, соединенными с источником питания.

Устройство работает следующим образом.

На вращающийся от электропривода 3 несущий диск 2 любым известным способом, например капельным, подается электролит. Поскольку несущий диск выполнен из несмачиваемого материала, электролит стекает в свободные объемы пазов 4, располагаясь в них полусферой и покрывая поверхность анодов 5 и катодов 6.

В гнездах установочной головки 9 фиксируются пластины 8 в положении, при котором их обрабатываемая поверхность лежит на поверхности диска 2 и касается электролита.

За счет соприкосновения поверхности пластин 8 с поверхностью диска 2 установочная головка 9 вместе с зафиксированными в ее гнездах пластинами 8 вращается вокруг своей оси.

При перемещении пластин 8 и электродов 5 и 6, размещенных в диске 2, обеспечивается поочередная подача положптельного потенциала через электролит на каждый участок обрабатываемой поверхности пластины 8, расположенный в данный момент над анодом 5. Одновременно другой участок пластины 8,

расположенпый над катодом 6, подвергается электролитической обработке.

Постояшюе и равномерное вращение дисг;а 2 вокруг своей осп обеспечивает равномерное переЛШщение пластпп 8 относительно поверхности электродов 5 и 6 и тем самым равномерную обработку их поверхности.

П р е л Л1 с т изобретения

Устройство для электролитической обработки пластин, содержащее вращающиеся электроды и шарнирно закрепленные над ними ;1,ержатели пластин, обесасчивающие постоянную установку п.частин параллельно поверхности электродов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения диапазона применения устройства за счет обеспечения подачи положительного потенциала к обрабатываемым пластинам, опо содержит несущий диск из несмачпваемого электролитом диэлектрика с параллельными пазами, в которых ниже поверхности диска размещены электроды в виде чередующихся пластин противоположной полярности, а свободный объем пазов заполнен электролитом.

2 7 7

W