Способ изготовления газоразрядной индикаторной панели Советский патент 1975 года по МПК H01J9/14 

1

Изобретение относится к газоразрядным индикаторным панелям.

Известен способ изготовления газоразрядных индикаторных панелей, при котором катодные электроды изготовляются, например, методом фотолитографии кз металлической ленты. Изготовленный катод помещается в панель, которая затем герметизируется.

Недостатком известного способа является то, что в процессе герметизации, осуществляемой посредством припоечного стекла при достаточно высокой температуре, электроды окисляются, причем толщина слоя окислов на них достигает сотен и тысяч Ангстремов, в результате чего параметры ячеек имеют больщой разброс. Очистка поверхности катодов, изготовляемых из материалов, применяющихся для данной цели (сплавы на основе стали, титан, молибден и т. д.), чрезвычайно затруднительна, а в ряде случаев и не возможна в связи с высокой устойчивостью окислов к распылению. Кроме того, при очистке требуется удалять с рабочей поверхности катодов большое количество металла, что приводит к запылению элементов конструкции панели.

Предлагается с целью повышения стабильности параметров панели, уменьшения времени ее тренировки и запыления элементов конструкции панели металлом покрывать катоды тонкой пленкой, обладающей устойчивыми защитными свойствами при толщине порядка десятков А. В качестве материала покрытия можно использовать окись алюминия, магния или бериллия, которая после термообработки

панели удаляется с рабочей поверхности катода, например, распылением в тлеющем разряде.

Перед сборкой панели катодные электроды покрывают пленкой алюминия, магния или

любого другого материала, способного образовывать тонкие окисные защитные пленки. После сборки панель герметизируется посредством легкоплавкого стекла при повышенной температуре. Во время гермегизации основной

материал катодов надежно защищен от контакта с кислородом и другими газами покрывающей его пленкой металла. После герметизации катоды очищаются от покрывающей их пленки, например, в процессе тренировки в

тлеющем разряде. При достаточно высокой плотности тока пленка легко разрушается и удаляется с поверхности катодов.

Предлагаемый способ значительно сокращает процесс тренировки и уменьшает напыление продуктов катодного распыления на элементы конструкции панели, так как толщина защитного покрытия намного меньше толщины слоя окислов, образующихся в результате термообработки незащищенного катода. S. Предмет изобретения Способ изготовления газоразрядной индикаторной панели, заключающийся в изготовлеНИИ электродов и элементов конструкции, сборке панели, герметизации, термообработке, наполнении ра бочим газом и тренировке, о тличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров панели, уменьшения 4 времени ее тренировки и уменьшения зйпыления элементов конструкции материалом катодов, катодные электроды перед сборкой панели покрывают слоем материала, образующего защитную окисную пленку, например слоем алюминия, который после термообработки панели удаляют с рабочей поверхности катодов, например распылением в тлеющем разряде,