Диэлектрический материал Советский патент 1975 года по МПК C03C3/22 H01B3/08 H01L1/02 

1

Предлагаемый диэлектрический материал предназначен для изоляции элементов интегральных схем.

Известен диэлектрический материал на основе кристаллического стекла, содержащего SiOa, ZnO, LiaO, К2О, PaOg.

Цель изобретения - улучшение адгезии к металлам и повышение коэффициента линейного термического расширения - достигается благодаря тому, что предлагаемый диэлектрический материал дополнительно содержит окись переходного металла, например хрома (Сг20з), при следуюш:ем количественном соотношении исходных компонентов (вес. %): SiOz50 -85

ZnO0,5-50

LiaO5 -35

KsO2-6

PaOs0,5-6

СггОз0,5- 5.

Диэлектрический материал получают следуюш,им образом.

Порошки исходных химически чистых компонентов Si02, ZnO, LiaCOs, КаСОз, (NH4)2HPO4, СгзОз смешивают в определенном соотношении для получения стекла состава SiOa - 82, ZnO - 5,5, Li20 - 12,5, К2О - 3,0, Р2О5 - 3,0, СгаОз - 0,8 вес. %, плавят нри 1400-1450°С в течение 1 часа.

Стекломассу отливают в виде образцов необходимой конфигурации или гранулируют.

Предлагаемый материал может быть иснользован для изоляции металлических элементов в штырьковых и плоских корпусах интегральных схем, а также для изготовления многослойных структур. В качестве проводников и металлических деталей могут быть использованы металлы и сплавы с высоким коэффициентом линейного термического расширения (медь, никель, 47НД и другие бескобальтовые сплавы).

Гранулят, приготовленный описанным способом, измельчают до удельной поверхности

7500 и на основе этого стекла и органической связки готовят шликер. Из шликера литьем под давлением получают изделия необходимой конфигурации. Заготовки собирают в графитовые формы и нагревают до 900-

1100°С для получения прочного изделия.

Изделия затем подвергают термообработке при 650-850°С в нейтральной или слабовосстановительной среде.

Предмет изобретения

Диэлектрический материал, преимуш,ественно для изоляции элементов интегральных схем, на основе кристаллического стекла, содержащего Si02, ZnO, Li2O, К20, Р2О5, о т л ичающийся тем, что, с целью улучшения

его адгезии к металлам и повышения коэффициента линейного термического расширения, он дополнительно содержит окись переходного металла, например хрома (СгдОз), при следующем количественном соотношении исходных компонентов (вес. %):

50 -85 0,5-50 5 -35 2-6 0,5- 6 0,5- 5.