Стекло для стеклокристаллического материала Советский патент 1977 года по МПК C03C3/22 

Из приведенных данных видно, что но согласованности с.КТР ковара, химической устойчивости и диэлектрическим параметрам лредлагаемый материал значительно превосходит известный, причем оптимальные добавки ZnO, Cs2O « F находятся в пределах 6-8, 3-4 и 1-2 вес. %, соответственно.

Согласовалдость полученных материалов с коваром по КТР, более высокие показатели химической устойчивости и диэлектрических параметров позволяют получить более качественные паяные изделия с коваром по тер|МОстойкости, сопротивлению изоляции, устойчивости к электролитическим .ваннам никелирования и золочения.

При изготовлении оснований корпусов интегральных схем гра«улят, полученный из снлава стекла оптимального состава, высушивали, измельчали до удельной поверхности 6-7 тыс. , готовили шликер на основе этого стеклопорошка и органической, связки. Из полученного шликера методом литья под давлением совместно с металлическими заготовками получали изделия необходимой конфигурации. Заготовки собирали в графитовые формы н нагревали до 950- 1000° С для получения проч.ного изделия. Полученные основания подвергали испытаниям на герметичность, сопротивление изоляции, устойчивость к гальваническим ваннам никелирования и золочения, в результате чего получены следующие данные:

Гер.метичность 5 -.10 мкм л/с Сопротивление изоляции 1 10 Ом

Сопротивление изоляции цосле никелирования и

Юз Ом золочения

Формула изобретения

Стекло для стеклокристалдического материала, «анример, для изготовления элементов интегральных схем, содержащее SiO2. АЬОз, LiaO, К2О, Р2О5, ZnO, ZrO2, отличающееся тем, что, с целью повышения химической устойчивости, диэлектрически : параметров и обеспечения согласованности

но коэффицненту термического расширения с коваром, оно дополнительно содержит F и Cs2O при следующем соотношении компонентов, вес. %:

55-65 10-15 10-il5 1-5 2-3 0,2-1,0 0,5-2 0,5-4

30 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Патент США № 3856497, кл 65-33, опубл. 1974.

2.Патент Великобритании № 1312700, кл. С1М, опубл. 1973.