Устройство для получения угольноколлодиевых пленок-подложек Советский патент 1975 года по МПК G01N1/36 H01J37/26 

отверстия, глубиной до 2 мм и диаметром 1,1-1,6 мм. Выступ 10 электрода 8 расположен в выемке 11 электрода 9. Электроды 8 и 9 поджаты пружиной 12 для создания лучших условий контактирования.

На основании 2 вакуумной камеры 1 установлена металлическая подставка 13, с помещенным на ней медным диском 14 с подложками 15, предназначенными для напыления. Подложки 15 представляют собой опорные сетки, покрытые коллодием. На подставке 16 помеш,ен индикатор 17 для контроля толщины напыляемых пленок.

Устройство работает следующим образом.

Для распыления угольные электроды 8 и 9 закрепляют в держателях 6 и 7 так, что выступ 10 электрода 8 без зазора входит в выемку 11 электрода 9. Пружина 12 прижимает электроды 8 и 9 для создания лучших условий контактирования. Держатели 6 и 7 устанавливают на стойках 4 и 5 на высоте 10 см от поверхности напыляемых пленок. Подложки 15 помещают на медный диск 14 для лучшего отвода тепла при напылении.

Металлическую подставку 13 предварительно охлаждают в жидком азоте в течение

5 мин. (-196°С), затем быстро устанавливают на нее медный диск 14 с подложками 15 и вносят под колокол 3. Под колоколом 3 создают разрежение Ю мм рт. ст. Через электроды 8 и 9 пропускают ток 25 а в течение 10 сек.

По степени окрашивания индикатора 17 судят о толщине напыляемого слоя.

Время и величина тока, пропускаемого через электроды 8 и 9, зависят от диаметра выступа 10 электрода 8.

Предмет изобретения

Устройство для получения угольно-коллодиевых пленок-подложек для микробиологических исследований с помощью электронного микроскопа, включающее вакуумную «амеру с установленной внутри нее подставкой

для подложек и угольными электродами, отличающееся тем, что, с целью уменьшения размера зерен углерода в получаемых пленках и улучшения их качества, один из электродов снабжен выступом, расположенным в выемке, выполненной в торце дпугого электрода.