Изобретение позволяет по расчетным дапным увеличить быстроту откачки насоса на 20%, а продолжительность работы пасоса при поминальной быстроте откачки после однократного псиарения геттера в 1,5 раза.
Предмет изобретеппя
Геттерный насос, содержащий охлаждаемый корпус, снабженный входным патрубком для
подсоединения к рабочему объему, и размещенные внутри корпуса испаритель геттерного материала и защитный экран, предохраняющий рабочий объем от попадания молекул геттерного материала, отличающийся тем, что, с целью повыщения быстроты откачки и увеличения времени непрерывной работы насоса, испаритель геттерпого материала расположен по периметру охлаждаемого корпуса у входного патрубка насоса.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Ионно-геттерный насос | 1983 |
|
SU1102408A1 |
Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос | 1981 |
|
SU970510A1 |
Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос | 1983 |
|
SU1152433A1 |
Электродуговой испаритель | 1978 |
|
SU693988A1 |
Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1980 |
|
SU943920A1 |
Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1982 |
|
SU1034100A1 |
Геттерный насос | 1977 |
|
SU705561A1 |
Комбинированный вакуумный насос | 1982 |
|
SU1034099A1 |
Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1981 |
|
SU983824A1 |
Вакуумная ловушка | 1987 |
|
SU1523714A1 |
Авторы
Даты
1975-05-30—Публикация
1973-08-06—Подача