Устройство для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя Советский патент 1981 года по МПК H01J9/42 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

I

Изобретение относится к электрическим газоразрядным и вакуумным электронным приборам и предназначено для технологического оборудования при производстве рентгеновских электроннооптических преобразователей и может быть использовано для изготовления других фотоэлектронных приборов.

Известны устройства для изготовления катодов электронно-оптических преобразователей, содержащие блок напыления металла на стеклянную подложку, печь обезгаживания стекла, блок задания и регулирования температуры печи, блок распыления газопоглотителей, печь возгонки активирующего металла и блок контроля вакуума .

Однако в данном устройстве не ведется измерение чувствительности формируемого фотокатода, а при задании величины тока печи активировки катода1 не учитывается скорость роста фото, тока. После изготовления фотокатода не ведется тренировка прибора. Все

это не позволяет автоматизировать.технологический процесс и отрицательно влияет на качество преобразователя. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для изготовления рентгеновских электронно-оптических преобразователей, которое содержит блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработ10ки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температуры печи обезгаживания, блок измерения чувствительности формируемого катода, блок контроля вакуума, соедиtsненный с электронно-оптическим преоб разователем, печь возгонки активирующего металла с блоком регулирования тока, блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопогло20тителей, соединенный с распылителем преобразователя 2 J.

Однако при проведении операции обезгаживания происходит изменение ваку3ума в преобразователе, которое в известном устройстве регистрируется визуально по прибору, расположенному в блоке контроля вакуума, после чего вручную дается поправка на изменение температуры, которое пропорционально значению вакуума. Кроме того, при рас пылении газопоглотителей напряже 1ие н нити накала каждой из трех спиралей подается поочередно вручную. Величина напряжения при этом не учитывает значение вакуума преобразователя. В известном устройстве не предусмотрен блок тренировки. Все это отрицательно влияет на качество формируемого фотокатода преобразователя и не позво ляет автоматизировать технологический процесс изготовления преобразователя Цель изобретения - автоматизация технологического процесса изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя и повышение его качества. Поставленная цель достигается тем что в устройство для изготовления рен геновского электронно-Оптического пре образователя, содержащее блок напьшения металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработк поверхности напыленной пленки с блоко задания и регулирования температуры печи обезгаживания, блок измерения чувствительности катода, блок контроля вакуума, печь возгонки активирующего металла с блоком регулирования тока печи возгонки, блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, введен блок тренировки, содержащий высоковольтный источник напряжения, подключенный к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключен к делителю напряжения, соединенному с анодами преобразователя, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контроля роста тока катода, а выход по следнего соединен с входом блока регу лирования тока печи возгонки, кроме того, блок распыления газопоглотителей содержит узел поочередной коммутации, имеющий три выхода, соединенных с распыпителями преобразователя, и узел автоматического программирования, соединенный с первым входом уз94ла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контроля вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печи обезгаживания. Причем узел автоматического программирования содержит задающий генератор , соединенный выходом с мультивибратором и.делителем частоты, каждый из которых соответственно соединен с первым и вторым входами переключающего каскада. На фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя; на фиг.2 блок-схема узла автоматического программирования . Устройство содержит блок I напыления металла на стеклянную подложку преобразователя 2, печь 3 обезгаживания и обработки поверхности напыления пленки с блоком 4 задания и регулировакия температуры печи оЛезгаживания, блок 5 измерения чувствительности катода, блок 6 контроля вакуума в изделни, печь 7 возгонки активирующего металла с блоком 8 регулирования тока печи возгонки, блок 9 контроля скорости роста тока катода, блок 10 распыления газопоглотителей, содержащий узел 11 поочередной коммутации, подключенный к трем спиралям 12 газопоглотителей в преобразователе, и узел 13 автоматического программирования, блок 14 тренировки, содержащий Высоковольтный источник 15 напряжения с делителем 16, подключенным к анодам 17преобразователя, и стабилизатор 18заданного значения тока тренировки, вход которого через высоковольтный источник подключен к переключателю 19. Узел 13 автоматического программирования содержит задающий генератор 20, делитель 21 частоты, ждущий мультивибратор 22 и переключающий каскад 23. Для нагрева и обезгаживания преобразователя 2 предназначена печь 3. Задание температуры и ее регулирование осуществляется блоком 4. При нагреве преобразователя происходит выделение газов, поэтому вакуум в нем резко ухудшается. Если ухудшение вакуума достигает определенной границы, то возникает необходимость приостанот вить рост температуры или понизить ее. 5Я Поэтому в устройство заведена обратная связь с блока 6 контроля вакуума на вход блока 4 задания и регулирования температуры. Сигнал, пропорциональный значению вакуума, автоматичес ки устанавливает определенное значени температуры в зависимости от состояни вакуума в преобразователе. Для проведения возгонки активирующего металла в преобразователе предназначена печь 7 возгонки, ток на которую подается с блока 8. Величина тока возгонки задается в определенной зависимости от скорости нарастания тока катода. Для этого на вход блока 8 регулирования тока печи возгонки подается сигнал с блока 9 контроля скорости роста тока катода. Измерение величины фототока катода ведется блоком 5, который подключается с помощью переключателя 19 к выходу блока 9 или к входу блока 14 тренировки катодоБ, Для проведения распыления газопоглотителей в преобразователе предназна чен блок 10, состоящий из узлов пооче редной коммутации i1 и автоматическог программирования 13. Узел поочередной коммутации автоматически получает на каждую из трех спиралей 12 газопог лотителей постоянный ток силой до 10 А длительностью 10-15 с. При распылении газопоглотителей происходит и менение вакуума в преобразователе, по этому скорость распыления газопоглотителей, зависимая от силы тока, проходящего через спирали, должна изменяться. С этой целью на вход узла И поочередной коммутации подключается сигнал с блока 6 контроля вакуума, пропорциональный значению вакуума в преобразователе. Длительность импульса тока и частота подключения каждого газопоглотителя к узлу 11 поочередной коммутации задается узлом 13 автоматического программирования. Узел автоматического програмьшрования (фиг. 2) работает следующим образом . Задающий генератор 20 генерирует кратковременные импульсы с частотой Р в 10-15 с, которые поступают на делитель 21 частоты и ждущий мультивибратор 22. Делитель 21 частоты работает таким образом, что на каждом из трех его выходов при приходе на его вход импульса поочередно устанавливается высокий потенциал. Ждущий мультивибратор работает таким образом, что на его выходе высокий потенциал по отно96, шению к входному импульсу смещен на 0,5 с, с целью создания паузы при поочередном прохождении тока через спирали газопоглотителя. Переключающий каскад 23 дает команду на поочередное подключение тока распыления на одну из трех спиралей газопоглотителей. Это достигается при совпадении положительных потенциалов с выходов делителя 2I частоты и мультивибратора 22. Для проведения тренировки изделия в устройстве предусмотрен блок 14 тренировки, состоящий из высоковольт ного источника 15, делителя 16 высоковольтного напряжения, подключенного к анодам 17 преобразователя и стабилизатора 18 заданного значения тока тренировки. Тренировка изделия ведется после вакуумной обработки. С целью автоматического изменения тока тренировки к входу блока стабилизации заданного значения через переключатель 19 подключен блок 5 измерения чувствительности фотокатода. При увеличении сигнала, снимаемого с блока 5, напряжение тренировки уменьшается до допустимого, определяемого технологией изготовления преобразователя. Использование делителя 16 напряжения, подключенного к двум анодам преобразователя, позволяет использовать один источник питания. Использование в предлагаемом устройстве блока тренировки, автоматического распыления и двух обратных связей по вакууму позволяет автоматизировать технологический процесс изготовления фотокатода, уменьшить количество обслуживающего персонала и повысить качество обрабатываемого изделия за счет автоматизированного процесса обезгаживания, активировкн и тренировки преобразователя. Формула изобретения 1. Устройство Для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя , содержащее блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температуы печи обезгаживания, блок измерения увствительности катода, блок контроя бакуума, соединенный с преобразоваелем, печь возгонки активирующего еталла с блоком регулирования тока.

7

блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, отличающеg (С я тем, что, с целью автоматизарщи технологического процесса изготов ения преобразователя и повышения его качества, в него введен блок тренировки, который содержит высоковольтный источник напряжения, подключенный к входу стабилизатора тока тренировки выход -которого подключен к делителю напряжения, соединенному с анодами преобразователя, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контроля скорости роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулирования тока печи возгонки, причем блок распыления газопоглотителей, выполнен из узла поочередной коммутации, имеющего три выхода, соединенных

698

с распылителями преобразователя, и узла автоматического программирования соединенного с первым входом узла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контроля вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печи обезТаживания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1,Патент Японии № 487668, кл. 99 D 13, опублик. 1973.

2,Авторское свидетельство СССР № 475683, кл. Н 01 J 9/42, 1962 (прототип).

20

KyJffy

лШе-.

23 реднб Konntj(ттцш