Вакуумная установка для нанесения покрытий Советский патент 1975 года по МПК C23C13/08 

3

детелю. Под испарителем размещен нагреватель подложек 28, который закреплен на крышке камеры, причем нагреватель подложек отделен от испарителя стационарным экраном 29. Над испарителем установлена заслонка 30.

Установка работает следующим образом.

Посл1е загрузки подложек в держатели и материала в испаритель закрывают крыщку и проводят процесс откачки. В процессе откачки прогревается арматура камеры с помощью нагревателей 5 и 7 с целью обезгаживания. Во время разогрева испаряемого вещества заслонка 30 занимает положение, при котором она предохраняет поверхности подложек и свидетеля от попадания испаряемого материала до начала возгонки. Затем приводят во вращение карусель подложек 12. Во время нанесения покрытия напыляемая поверхность подложек подогревается нагревателем 28, а свидетель 5 периодически отделяется от испарителя щирмами, расположенными на карусели, тем самым обеспечивается

одинаковое качество покрытия на неподвижном свидетеле и вращающихся подложках. После напыления покрытия заслонка 30 отсекает поток испаряемого материала к подложкам и свидетелю.

Предмет изобретения

1.Вакуумная установка для нанесения покрытий, включающая напылительную камеру, отделенный от нее заслонкой испаритель, держатели подложек и нагреватель, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, держатели подложек смонтированы накарусели, ось которой расположена в горизонтальной плоскости, а нагреватель размещен под испарителем и отделен от него экраном.

2.Вакуумная установка по п. 1, отличающаяся тем, что она снабжена свидетелем для {контроля качества покрытий, отделенным от испарителя подвижными щирмами, закрепленными на карусели подложек.

/X

20

JO

18

U

Фиг. 1

20

10

fi