Устройство для нанесения фоторезистивных пленок Советский патент 1975 года по МПК G03C1/74 H05K3/28 

Изобретение относится к устройствам для наа1есе;ния тонки,х лленок из жидких материалов, лреимущественно фоторезисти;вных пленок, на плоские .подложки при изготовлении полущроводнпковых и гибридных ИНтегральных Схем, фотошаблонощ, .масок и других изделий микроэлектрон1 ки.

Известны устройства для нанесения фоторези стив;ных пленок, содержащие установленный ;н,а шпинделе :патрои для .подложек, вакуумную систему для отсоса воздуха и приводной механизм .врандения шпинделя.

Цель и.зоб,ретеиия - повышение пролзводительности устройства и качества пленок - достигается тем, что патрон предлагаемого устройства выполнен в -виде установленных одна над другой полок, скре.пле;нных верти«альными штанга.ми, причем в штантах и лолках Быполне«ы калалы, соединенные : .вакуумной сЕстемой.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство, вид .опереди; ;на фиг. 2 - сечение по Л-Л.

Патрон для ладложек / представляет собой установленные одна над другой полки 2, на которых закреплены столики 3. Полки скреплены через кольца 4 вертикальными штангами 5 с помощью гаек 6 с нп.ж.ней полкой 7 и верхней полкой 8. Для фиксации подложек У в щтангах 5 и .полках 2 илшются каналы, соединенные через центральный канал шлинделя 9 с вакуумной системой. Верхняя лолка содержит зонт W и гнездо для установки свободно вращающегося -центра // приводного механизма шпинделя 9.

Устройство работает следующим образом.

По.длож,ки / укладывают на столики 3 п фиксируют на них с .помощью вакуумного присоса. После одновременной выдачи дозы раствора фоторезиста на верхние поверхности всех обрабатываемых .подложек щпннаел 9 Првдводится ,во вращение с помощью приводного механизма, и фоторезистивная пленка наносится на подложки. После остаио.зки щпииделя вакуумный Присос отключают, и о.бр аботан.ные по.дложки снимают со столиков .патрона.

Предмет и з о б ip е т е н и я

Устройство для нанесения фоторезистивных нленОК, содержащее установленный .на

щлинделе патрон, служащий для размещения по.дложек, вакуумную систему для отсоса воздуха и приводной механизм вращения шпи.нделя, отличающееся тем, что, с целью повыщеиия его производительности и качества

нленок, патроп выполнен в виде установлен34

ных одна иад другой :полок, скрепленных чем в штангах и полках выполнены каиалы, |между собой вертикальными штангами, при- сое.диненные с вакуумной Системой.

480040

Фиг f

Фиг.2