Зондовое устройство Советский патент 1975 года по МПК G01R31/303 H05K13/00 

Изобретение относится к области радиотехники и может Ьыть использовано в устройствах для измерения поверхностного сопротивления тонких пленок, нанесенньрс термическим испарением в вакууме в произаодстве интегральных микросхем.

Известные зондовые устройства, со- держащие корпус, насадку и подпружиненные стержневые зонды, имеют продольгный прогиб, создающий погрешности при измерении и вызывающий быстрый износ устройства.

Цель изоЬретения уменьшить про-1иь зондов и повысить точность измереПИЙ.

Зто достигается тем, что каждый ;к)нд размещен в направляющей, выпол110ННОЙ в виде зафиксированной в корнус-и диэлектрической трубки, и снабжен

резьПопой втулкой, служницей для регулирования величи), давления зонда при гак гн)1овании.

На ч( изображено предлат-аемое .i.iii/i.iiv.;:; устройство.

Оно содержит насадку 1, зонды 2, выполненные из вольфрамовой проволоки, нижние конпы которых проходят через руЬиновые втулки для перпендикулярного расподожения зондов 2 и постоянного междентрового расстояния между зондами 2, а верхние концы размешены в направляющих 3, каждая из которых Выполнена в виде диэлектрической тру- Ьочки, например стеклянной, зафиксированной в конусе 4 Корпуса 5 при помо, щи эпоксидной смолы.

Камодый зонд 2 снаЬжен направляющей 6, выполненной, например, из фторопласта, фланпем 7, спаянным с зондом 2 и выводным Проводником, пружиной 8, резьбовой втулкой 9, шайбой-изолятором 10, упором 11 и контргайкой 12, служащими для регулировки давления зонда при контактировании.

Компенсацию при износе зондов 2 нроизводят ввинчиванием резььовой EvryJiки 9 в корнус 5.