Резистивный материал Советский патент 1976 года по МПК H01C7/00 C22C19/00 

1

Изобретение отнооится к технологии Н:роизводства радиоэлактроииой аппаратуры и может использоваться для «зго/товления резистивных элементов на кера;мичвоких основаниях, преимущественно для изготовления резисТИ1ВНЫХ элементов толстопленочных интегральных -схем.

Известны рези1стив1ные материалы, преимущественно для изготовления толстопленочных резисторов, содержащие в качестве пр01водящей фазы бинарный сплав металла платиновой группы, например палладия, и металла переходной группы, стекло и органическое связующее.

Цель изобретения - улучщение воспроиз/води;М1Ости номиналов резисторов, повыщение их стабильности и снижание температурного коэффициента сонротивлений (ТКС).

Это достигается тем, что предлагаемый резистивный материал в качестве металла переходной группы содержит никель при следуюп1ем соотношении исходных компонентов,

Никель-палладиевый сплав 20-40 Стекло.40-60

Органическое связующее18-22

Причем материал содержиткомпоненты

бинарного сплава в следующихколичествах,

зес. %:

2

Палладий80-85

Никель15--20

В зависимости от технологического исполнения гибридной интегральной схемы (тип подложки, материал изолирующего слоя, рабочая температура) в составе резистивного материала могут быть использованы свинцовоцинкоборатное или свинцовоборосиликатптое стекла. ВВедение никеля и использование в качестве проводящей составляющей пикель-палладиавой системы в виде твердого раствора позволяет получить следующие характеристики резистИВных элементов: воспроизводимость номиналов не хуже ±10%, темлературный коэффициент сопротивлений -(-50 - ±150) 10 1/град. Введение никеля в проводящую сО|Ставляющую позволяет исключить миграционные эффекты, что повышает воспроизводимость номиналов резистивных элементов. Никель-палладиевая система упорядочивает процесс спекания, уменьшает температурный коэффициент сопротивлений резистивных элементов.

Резистивный материал приготавливают путем Механического перемешивания проводящей составляющей и стекла в органическом связующем. Проводящую составляющую получают электрохимическим, химическим или другими способами в виде твердого раствора. 3 Содержание 1никеля в системе составляет 15-35 вес. % и может варьироваться в процессе приготовления. . Формула изооретения 1. Резистивный материал, преимущественно для изготовления толстопленоч ых резисторов, содержащий в качестве проводявхей фазы бина:рный сплав металла платиновой группы, «апример палладия, И металла переход-К) ной группы, стекло и органическое связующее, отличающийся тем, что, с целью улучщения воспроизводимости номиналов резисторов. 4 . повышеиия их стабильности и снижения ТКС, в качестве металла переходной груипы он содержит иикель при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %: Никель-палладиевый сплав 20-40 Стекло 40-60 Органическое связующее 18-22 2. Резвстив ный материал по п. I, отличающийся тем, что ОН содержит ком1ПО:Нвнты бинарного сплава в следующих количествах, вес. %: Палладий 80-85 Никель 15-20