Способ тренировки тонкопленочных конденсаторов Советский патент 1976 года по МПК H01G13/00 

1

Изобретение относится к технологии производства микросхем.

Известен способ тренировки тонкопленочных конденсаторов, включающий подачу напряжения «а обкладки конденсатора и выжигание дефектных мест в диэлектрике.

Цель изобретения - повышение пробивного напряжения.

Предлагаемый способ отличается тем, что на время подачи напряжения на обкладки конденсатора и выжигания дефектных мест в диэлектрике конденсатор помещают в магнитное поле, вектор напряженности которого перпендикулярен поверхности диэлектрика.

Способ позволяет ускорить тренировку примерно вдвое, а также повысить напряжение пробоя тонкопленочных конденсаторов на 20%.

Сущность изобретения поясняется примером.

На обкладки тонкопленочных конденсаторов подают плавно возрастающее ot нуля напряжение и помещают их в магнитное поле ГС, вектор напряженности которого перпендикулярен поверхности диэлектрика, и выжигают дефектные места в диэлектрике. Время выхода на участок с постоянным напряжением пробоя, т. е. время тренировки, сокращается на 50%, а амплитуда напряжения пробоя возрастает на 20%.

Предмет изобретения

Способ тренировки тонкопленочных конденсаторов, включающий подачу напряжения на обкладки конденсатора и выжигание дефектных мест в диэлектрике, отличающийся тем, что, с целью повыщения пробивного напряжения, на время указанных операций конденсатор помещают в магнитное поле, вектор напряженности которого перпендикулярен поверхности диэлектрика.