1
Изобретение относится к способу получения сферических гранул на основе карбида бора и может найти применение в процессах обработки полупроводниковых материалов, сплавов, а также при изготовлении связанных абразивов.
Известен способ получения сферических гранул на основе карбида бора, включающий плавление исходного порошкового .материала в потоке безэлектродной низкотемпературпой плазмы.
Цель изобретения - повышение абразивной способности готового продукта.
Для этого в исходный материал вводят борсодержащую добавку и расплавление ведут при поддержании скорости потока 10± ±15 м/сек.
В качестве борсодержащей добавки используют аморфный бор.
Способ позволяет повысить твердость и одпородность гранулометрического состава сферического порошка карбида бора и обеспечивает повышение удельного съема при полироВКе полупроводниковых пластин в 2- 3 раза.
Пример. Промышленный порошок карбида бора с размером зерен 100-125 мкм в количестве 500 :г смешивают с порошком аморфного бора в количестве 50 г и с помощью
щнекового питателя в среде транспортирующего аргона направляют через водоохлаждаемую питающую трубку в кварцевый реактор 0 60 мм, где индуцируют безэлектродный плазменный разряд, стабилизированный инертны.м газом (аргоно-гелиевая смесь).
Плазмообразующий газ подают через шестиканальное распределительное устройство по траектории, близкой к спирали Архимеда. Расход газа 50 л/ми«, V - плазмы 10 м/сек. Процесс ведут в течение 1 час.
Сферический упрочненный порошок оседает на стенках водоохлаждаемого конденсатора и стеклоткаиевого фильтра.
Формула изобретения
1.Способ получения сферических гранул на основе карбида бора, включающий плавление исходного порошкового материала в потоке безэлектродной низкотемпературной плаз.мы, отличающийся тем, что, с целью повыщения абразивной способности готового продукта, в исходный материал вводят борсодержащую добавку и расплавление ведут при поддержании скорости потока 10± ±1,5 м/сек.
2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве борсодержащей добавки используют аморфный бор.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА ТУГОПЛАВКОГО МАТЕРИАЛА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2010 |
|
RU2446915C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА КАРБИДА ВОЛЬФРАМА, УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ СПОСОБА И ПОРОШОК КАРБИДА ВОЛЬФРАМА, ПОЛУЧЕННЫЙ ЭТИМ СПОСОБОМ | 2005 |
|
RU2301133C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АБРАЗИВНОГО ПОРОШКА | 1998 |
|
RU2196837C2 |
| Способ получения шлифовального материала | 1991 |
|
SU1768561A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ГАЗОВОГО ПОТОКА И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕПЛОПОГЛОЩАЮЩЕГО МАТЕРИАЛА | 2010 |
|
RU2464498C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНОГО ПОРОШКА МЕТАЛЛА | 2011 |
|
RU2489232C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО МАТЕРИАЛА И ИЗДЕЛИЯ ИЗ НЕГО | 2021 |
|
RU2776244C1 |
| Способ получения 3D-объектов сложной формы из керамики высокоэнтропийного сплава методом струйного нанесения связующего | 2022 |
|
RU2810140C1 |
| ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА ГЕКСАБОРИДА КАЛЬЦИЯ | 2013 |
|
RU2539593C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛЯННЫХ СВЕТООТРАЖАЮЩИХ СФЕРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ | 2020 |
|
RU2749769C1 |
