Способ обезуглероживания никелевых деталей электронных приборов Советский патент 1976 года по МПК H01J9/38 

1

Изобретение относится к технологии изтх|товления электронных приборов и, в част- |н9сти, к тбхнопогии очистки от углерода (Никелевых деталей электронных приборов,

Известен способ обезуглероживания ни|келевых деталей i электронных приборов путe нагрева их в откачиваемой камере при подаче в нее стабилиэированногс по величине потока газа, способного взаимодействовать с углеродом, например-Кислорода,

Цель изобретения -. повьюить качество сэ зуглероживания и обеспечить воспроизво дамость результатов обработки. .

Это достигается тем, что детали нагревают до 58 О-6 О О С при пархшальном .давленни газа мм рт. ст., а длительность обработки определяют по моменту стабилизации парциального давлений одного из газообразных продуктов реакции взаимодействия углерода с подаваемым газом,

Способ осуществляют следующим обраI ЗОМ,

Обрабатываемые детали помещают в ва 1куумную камеру отжига и ведут постоянную откачку. Затем в камеру вводят стабилизи-

рованный поток газа, например кислорода, при парциальном давлении его 2-5 10 мм рт, CT.J поддерживая его постоянным в течение всего процесса обезуглероживания и нагревают детали до температуры 58О-600 в результате чего образуются газообразные продукты реакции взаимодействия углерода. и соответствующего газа,

Постоянно измеряя парш1альное давление одного из газообразных компонентов реакции, фиксируют момент стабилизации его, свидетельствующий о полном удалении углерода из обрабатываемых дегалей.

Обработка деталей в соответствии с изобретением повышает стабильность параме-ьров электронных приборов и срок службы.

Формула изобретения

Способ обезуглероживания никел.)1,1Х деталей электронных приборов путем нагрева их в откачтшаемой камере при подаче в нее стабилизированного по величине потока газа, способного взаимодействовать с угл&родом, например кислорода, о т л и ч а к 511645

г.

Ы И ft с я тем, что, с целью повышения ка« и длитепьнсхть обработки опредепяют по чества обезуглероживания и попучвния вое- моменту стабилизации парциального давйе произврдамых результатов обработки, дета- |ния одного из газообразных продуктов реакли нагревают до 58О-вОр С при парциаль- цин взаимодействия углерода с подаваемым ном давлении газа Ю мм рт, ст., газом.